比较项目 |
微熔技术的压力传感器 |
普通应变式传感器制造工艺 |
应变片材料 |
采用微加工的硅压敏电阻,输出灵敏度高,性能稳定,生产一致性,批量可靠性及重复性好。 |
化学万法腐蚀加工的铜铂式应变片,输出灵敏度低,重复性差。 |
粘贴材料 |
采用微焙技术将压敏电阻固化结台在隔离膜上,过程参数严格受控,避免了湿度及机械疲劳影响,迟滞好。 |
采用腔将应变片粘贴到隔离膜上,有退滞、蠕变等现象,由于手工操作,重复性,致性不客易控制。 |
粘贴温度 |
采用高温(400℃以上)将高分子材料熔化进行粘接,工作温度宽。 |
工作温度受胶的工作温度限制 |
粘贴后整个原件性能 |
A:输出灵敏度高>1OOmV B:电桥阻输入阻抗大>2KΩ C:长期稳定性好 D:使用寿命长 E:无O型圈,无焊缝,无泄露隐患 |
A:输出灵敏度低,约1OmV左右 B:电桥输入阻抗小,约500Ω C:长期稳定性差 D:使用寿命短 |
生产万式 |
易于实现大批量生产,生产效率高。 |
只能手工操作,不易于实现大批量生产,生产效率低 |
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制造成本低,高 |
制造成本高。 |