山西仁荷微电子科技有限公司主要从事质量流量器的研制、开发、制造、销售以及售后等相关的服务。产品包括高质量的气体质量流量控制仪器及测量仪器、气体工艺解决方案和全球服务支持方案。本公司产品气体质量流量控制器广泛应用于工业气体、石油、化工、电子及微电子、半导体、太阳能光伏、各类实验室、研究、标准检测等各类高新技术领域，为客户提供各种气体管道输送系统的全面服务。深受广大客户的肯定及认同。我公司生产的气体质量流量控制器使用的技术全由我们*技术，具有知识产权，产品的每一个部件都有我们自己设计制作，且已取得了多项技术申请 ,气体质量流量控制器每一个部件我们都以精益求精的质量服务广大客户，让客户体验到自动化流量控制设备带来的改变，为现有的产品技术升级提供基础服务。
MF系列
MF-50/100/200C MF-100/200M
特点：
有很宽的工作压力范围，产品可以从真空直到10Mpa;本产品可以使用多种气体介质（包括yi些腐蚀性气体，如三氟化硼、三氯化硼、氯化氢、氟化氢等等）；有很宽的流量范围，产品总磷小流量范围可达0~10sccm，总磷大流量范围可达0~30slpm。流量控制范围是满量程的2~***（量程比为50:1）。
——耐高压（总磷大工作压力可达100bar）
——响应时间快≤1sec
——模拟输入输出接口（0-5Vdc或4-20mA可选）
——连接尺寸与其他标准质量流量器兼容
——准确率高
——稳定的流量控制
——压力***
用途和特点
气体质量流量控制器（MFC）在石化工业、生化、半导体和集成电路工业、特种材料学科、医药、蔬果保鲜、加气饮料、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的场合包括：电子工艺设备，如：氧化、CVD、MOCVD、扩散、外延、等离子刻蚀、离子注入、溅射、以及微反应装置、混气配气系统、真空镀膜设备、光纤熔炼、气相色谱仪及其他分析仪器。
结构
气体质量流量计由流量传感器（Sensor），分流器通道和流量放大电路等部件组成；在气体质量流量计的基础上，再加上调节阀门和PID控制电路就构成了气体质量流量控制器。
三、主要技术指标
编号 项目 MF-200C MF-200M
1 流量规格（N2） 10sccm～30slpm
2 准确度 ±1％F.S(Full Scale)
3 重复精度 ±0.25％F.S（Full Scale）
4 响应时间 ≤2sec（特别要求时：≤1sec）
5 耐压 ≤90bar
6 工作环境温度 0℃～50℃
7 输入输出信号 0～5V 0～5V or 4～20mA
8 供电 +15Vdc or +24Vdc 350mA
9 漏率 1×/sec
10 使用范围 2～100％满量程
