骏河精机SURUGA SEIKI滑台KXE06200-L-C,应用于半导体设备

• 日本骏河是制造精密定位滑台的*厂家。 从研究机构到生产技术领域，全方位支持精密定位技术和光学技术。

• 经营产品

• 从滑台等的定位部件到光纤耦合的系统产品的提案，范围广泛。

• 主要的客户

• 产品被应用于自动化设备，半导体设备，医疗器械，光通信设备，实验室设备，测试和检查设备等各种领域。

• 制造工艺

• 对全球展开也投入了力量，现在在越南，美国，韩国，，泰国，波兰建立了生产基地。

骏河精机的自动滑台是
研究开发・光学实验・电子部品等的检查・显微镜下的位置调整等适合亚微米的定位的「高精度・定位滑台」和部品组装及搬送用途等用到的「中精度・定位滑台」的展开。
在阵容丰富的骏河精机的自动滑台中更能找到适合客户规格需求的滑台。
运动方向：
骏河精机备有，直线运动・水平面Z・测角仪・旋转的4个运动方向的定位滑台。
滑台可以组合，定位范围更加广泛。

SH滑台：经济型系列

适合电子部品的组装及搬送等无需高精度定位的新产品。
价格设定合理适合生产现场，外销装置中的配套零部件。

SH直线运动滑台、备有30种以上的机型。
根据以下「STEP」、勾选所需规格、可以选择客户理想的滑台。
・把光标放在说明上、就可以看到说明。

 

型号	滑台面尺寸(mm)	移动量[mm]	传感器盖板位置	马达选配	单向定位精度(µm)	重复定位精度(μm)	高分辨率脉冲時(μm)	*速度(mm/sec)	耐负载 [kgf]	直线度 (µm)	平行度(μm)
升降按钮
KXT04015-LC	40×40	15	L	C	10	±1	2	10	10	10	20
KXT04015-RC	40×40	15	R	C	10	±1	2	10	10	10	20
KXT06015-LC	60×60	15	L	C	10	±1	2	10	10	10	20
KXT06015-RC	60×60	15	R	C	10	±1	2	10	10	10	20
KXE06050-L-S	80×60	50	L	S	20	±2	25	100	15	15	30
KXE06050-L-UU	80×60	50	L	UU	20	±2	20位编码器(1,048,576P/R)	250	15	15	30
KXE06050-L-C	80×60	50	L	C	20	±2	10	100	15	15	30
KXE06050-R-S	80×60	50	R	S	20	±2	25	100	15	15	30
KXE06050-R-UU	80×60	50	R	UU	20	±2	20位编码器(1,048,576P/R)	250	15	15	30
KXE06050-R-C	80×60	50	R	C	20	±2	10	100	15	15	30
KXE06075-L-S	80×60	75	L	S	20	±2	25	100	15	15	30
KXE06075-L-UU	80×60	75	L	UU	20	±2	20位编码器(1,048,576P/R)	250	15	15	30
KXE06075-L-C	80×60	75	L	C	20	±2	10	100	15	15	30
KXE06075-R-S	80×60	75	R	S	20	±2	25	100	15	15	30
KXE06075-R-UU	80×60	75	R	UU	20	±2	20位编码器(1,048,576P/R)	250	15	15	30
KXE06075-R-C	80×60	75	R	C	20	±2	10	100	15	15	30
KXE06100-L-S	80×60	100	L	S	20	±2	25	100	15	15	30
KXE06100-L-UU	80×60	100	L	UU	20	±2	20位编码器(1,048,576P/R)	250	15	15	30
KXE06100-L-C	80×60	100	L	C	20	±2	10	100	15	15	30
KXE06100-R-S	80×60	100	R	S	20	±2	25	100	15	15	30

 

型号	滑台面尺寸(mm)	移动量[mm]	传感器盖板位置	马达选配	单向定位精度(µm)	重复定位精度(μm)	高分辨率脉冲時(μm)	*速度(mm/sec)	耐负载 [kgf]	直线度 (µm)	平行度(μm)
升降按钮
KXE06100-R-UU	80×60	100	R	UU	20	±2	20位编码器(1,048,576P/R)	250	15	15	30
KXE06100-R-C	80×60	100	R	C	20	±2	10	100	15	15	30
KXE06200-L-S	80×60	200	L	S	20	±2	25	100	15	15	30
KXE06200-L-UU	80×60	200	L	UU	20	±2	20位编码器(1,048,576P/R)	250	15	15	30
KXE06200-L-C	80×60	200	L	C	20	±2	10	100	15	15	30
KXE06200-R-S	80×60	200	R	S	20	±2	25	100	15	15	30
KXE06200-R-UU	80×60	200	R	UU	20	±2	20位编码器(1,048,576P/R)	250	15	15	30
KXE06200-R-C	80×60	200	R	C	20	±2	10	100	15	15	30
KXE06300-L-S	80×60	300	L	S	30	±2	25	100	15	15	35
KXE06300-L-UU	80×60	300	L	UU	30	±2	20位编码器(1,048,576P/R)	250	15	15	35
KXE06300-L-C	80×60	300	L	C	30	±2	10	100	15	15	35
KXE06300-R-S	80×60	300	R	S	30	±2	25	100	15	15	35
KXE06300-R-UU	80×60	300	R	UU	30	±2	20位编码器(1,048,576P/R)	250	15	15	35
KXE06300-R-C	80×60	300	R	C	30	±2	10	100	15	15	35