只需按一下按钮即可自动涂层。没有麻烦的操作。高机器。它是 MSP-1S 的弟弟。
使用小目标(φ30 mm)。实现低运行成本。Au 靶材作为标准配置。展示了其在台式扫描电镜预处理方面的能力。
可选的靶Ag膜具有优异的光泽度,便于对透明材料表面进行光学显微镜观察。
物品 | 规格 |
电源 | AC100V, 10A 使用带地线的 3 芯插头 |
设备尺寸 |
宽 180 毫米,深 270 毫米,高 183 毫米 (设备重量 4.2 公斤) |
旋转泵 |
排气速度 5 ℓ / min (G- 5DA) (泵重量 5.5 kg) |
样品室尺寸 | 内径 86 毫米,高度 60 毫米(硬玻璃) |
样品台尺寸 | Φ83mm |
样本量 | 有效直径Φ30mm,高度20mm以下 |
目标 |
Φ30mm磁控管电极 Au(标准),选项(Ag) |