VE-2013是继承了VE-2030(本公司生产)概念的简易真空蒸镀装置。带有内置 TMP 的紧凑型外壳。由于是台式机,所以不占空间。RP 放在地板上。
我们提供具有小型 TMP + RP 排气系统且价格低廉的清洁、高真空气相沉积设备。它是一种全自动控制,消除了复杂的排气操作,只需打开/关闭触摸面板开关。
金、铝、铬、银等可以使用钨篮进行沉积。碳气相沉积使用使用碳 ( SLC-30 )蒸发的夹式气相沉积枪类型。(不能使用Φ5mm碳棒。)


主要产品规格
| 物品 | 规格 |
| 电源 | AC100V(单相100V15A) |
| 设备尺寸 |
宽 428 毫米,深 430 毫米,高 550 毫米 (设备重量 38 公斤) |
| 旋转泵(外) |
排气速度50ℓ/分钟(G-50DA) (重量11kg) |
| 涡轮泵(内置装置) | 排气速度 67ℓ/秒 |
| 样品台 | 直径72mm |
| 沉积源-样品台间距 | 可调范围为 0 mm 至 140 mm |