| 产品名称 | CUBE GM-X 系列 |
|---|---|
| 尺寸 |
CUBEGM-X2: W350 × D400 × H280 (mm) * 不包括突出部分 CUBEGM-X3: W430 × D400 × H280 (mm) * 不包括突出部分 CUBEGM-X4: W510 × D400 × H280 (mm) * 突出部分 不包括部分 |
| 输入电源 | AC100V |
| 目前的消费 | MAX 2.3A * 安装 4 个质量流量控制器时 |
| 流量范围 | 1行:FS10SCCM ~ 20SLM * 但是,混合气体流量必须在50SLM以下。 |
| 流量控制 | MFC:C1000 系列或 FCST1000 系列 |
| 流量设定/输出显示 | 0-5VDC |
| 入口、出口阀 | 电磁阀 |
| 外部泄漏 | ≦ 5 × 10 -7 Pa・m 3 / sec He |
| 耐压 | 1MPa |
| 气体接触材料 |
SUS316、PTFE、氟橡胶 (FCST1000系列:磁性不锈钢、氟橡胶或氯丁橡胶) |
| 管道连接 | 如需 1 / 4in.SWL(等效)和其他配件,请联系我们。 |
| 使用环境 | 温度:5 至 50°C 精度保证范围:15 至 35°C 湿度 30 至 80%(无冷凝) |
| 配件 | AC电缆(2m),使用说明书 |