高效过滤器检漏目的
高效过滤器检漏的目的是为了通过测出允许的泄漏量，发现高效过滤器及其安装的缺陷所在，以便采取补救措施。在洁净空气中，高效过滤器是实现高洁净度空气净化的关键设备。十万级以上洁净度级别的洁净室普遍采用高效过滤器，但高效过滤器安装后能否达到设计要求，在很大程度上取决于高效过滤器的安装质量。在实践中有许多洁净室设计是合理的，但安装完成后或使用中却未达到预定的效果，检测发现不是污染尘埃粒子标，就是细菌数标，这才有了高效过滤器的检漏。
高效过滤器的检漏方法
高效过滤器的检漏通常采用烟尘发生器在过滤器上游发烟，使用光度计检测过滤器上下游气溶胶浓度来判断滤器是否有泄露。发烟的目的是因为高效过滤器上游尘埃粒子浓度较低，仅用粒子计数器在不发烟的情况下检测，较难发现有泄漏，需补充发烟才能有明显、容易的发现泄露。
烟尘发生器可分为热发生和冷发生两种，热发生器是利用蒸发冷凝的原理，被雾化的气溶胶粒子用加热器蒸发，并在特定条件下冷凝成微小液滴，去掉过大和过小的液滴后留下0.3um左右的雾状DOP进入风道，粒径分布在0.1~0.3um。冷发生器是指利用压缩空气在液体中鼓气泡，经laskin喷管飞溅产生物态的多分散相DOP气溶胶，*分布粒径在0.65um左右。在对过滤器进行扫描检漏时，经常使用冷DOP.
在检测过程中必须先确认高效过滤器本身及其安装是否有明显的泄露，确认无明显泄露后再做检测。现将高效过滤器的散流板卸下，然后将气溶胶直接从系统风机的负压一侧引入，如要从风管中引入，则应在距高效过滤器至少10倍风管直径处引入，并尽量减少拐弯。一般情况下，保持上游气溶胶达到要求浓度，且浓度波动在一定范围即可。对于层流罩、净台上的高效过滤器，气溶胶直接从系统风机的负压一侧引入。然后用光度计采样头对整个滤器面、滤器与边框之间、边框与边框之间以及边框与静压箱之间的密封进行扫描。扫描时采样头距滤器面约1英寸(约2.54cm)，扫描速度不过5cm/s。扫描按直线来回往复地进行，线条间应重叠。检测过程中，若有报警声(泄漏率过0.01%)，表明有泄漏。泄漏处经用硅胶堵漏或紧固以后再进行扫描巡检。检查一个过滤器约为5min 左右，在测试的过程中，应经常确认上游气溶胶的浓度，注意在检测过程中应带防护面罩和防护眼罩。
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