3轴机械臂_全轴采用AC伺服电机满足高速搬送
采用AC伺服电机的3轴机械臂特点：
洁净无尘间用300mm晶圆对应MCR3000C系列
适用于半导体生产设备内部，检测设备等的晶圆搬运
全轴采用AC伺服电机满足高速搬送的需求
比MHR系列具有更好的优势
机械手臂标准臂长:160mm, 200mm
适应设备需求可以选择底座固定方式，或者法兰固定方式
配备动作监视器
控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式
全轴采用*值编码器规格的AC伺服电机
S曲线加减速控制方式能够高速，高精度地搬运半导体晶圆
晶圆固定方式：真空吸附式，下托式，边缘夹持式，伯努利非接触式
手指材质：CFRP(碳纤维),铝合金，高纯度陶瓷等多种可选材质
可以针对被搬运物体种类，设备布局等要求提供*的手指
如需详细产品参数 请联系我们衡鹏
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