1326AB-B410G-21/C A-B

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1326AB-B410G-21/C A-B 该系统的传动级主要由交、直流全数字调速控制器构成1326AB-B410G-21/C A-B ，其通过 PROFIBUS-DP现场总线与相应 PLC进行通讯；基础自动化控制级主要由10套功能强大的PLC和13台 HMI构成，

其按照控制区域和功能的不同分布于生产线的不同位置，完成生产线上的各种工艺控制功能，PLC之间以及PLC 与 HMI 之间通过基于光缆的以太网进行数据交换；

Yaskawa Robot Controller XU-CN1112A  0190-15107

Brooks PRI Wafer Robot WTM-511-2-FWS02?-V1 

Brooks PRI Wet Robot WTM-511-2-FWS02?-V1-CU 0190-08246

Equipe PRI 300mm Wafer Prealigner PRE-300B 

Brooks Fixload Load Port Fixload 25

Equipe PRI Automation 300mm Wafer Prealigner PRE-300B

AE Navigator X90 RF Match 3155183-001D 0190-25190

Cybeq 2831 Control Unit Controller 

Pearl Kogyo 5kW RF Generator RP-5000-60MA  0190

Shimadzu TMP-3403LMTC Vacuum TurboPump Not 

Metron Ecosys Multi Nozzle Manifold 210-17343-00 

ENI Genesis GHW-12Z RF Generator 0190-25527 

TEL ACT 8 SOG Absolute Filter CT2980-090863-1?1 

TEL ACT 8 FFU Fan Filter Unit CT2980-091974-1?1

TEL ACT 8 FFU Fan Filter Unit CT2980-090796-1?1 

Seiko Seiki Turbopump Controller SCU-H2001K2 

Brooks Wet Robot WTM-511-2-FWS02?-V1-CU 0195-02883

Brooks Wet Robot WTM-511-2-FWS02?-V1  0190-08245

Brooks Wet Robot WTM-511-2-FWS02?-V1-CU 0190-08246

Brooks AcuLigner 300mm Prealigner 122919