产品名称:SIOS差分激光干涉仪SP 5000 DI
产品型号:SP 5000 DI
产品介绍:我们的稳定差分激光干涉仪 SP 5000 DI 具有的热稳定性,可用于研发中的长期测量,例如 B. 在材料测试中使用。由于具有参考光束的结构,测量系统可以放置在距测量点更远的位置,而不会显着影响测量的分辨率和稳定性。干涉仪的长度分辨率为 5 pm,由于相同光束长度下测量系统的差分原理,在正常实验室条件下也可以实现。如果使用倾斜不变反射器进行测量,则长度测量的测量范围为几米。该系统具有模块化结构,因此可以适应测量任务。调整可以很容易地进行并且具有长期稳定性。基于 SP 5000 DI 干涉仪的多轴系统结构也支持多坐标测量。
性能特点:
差分激光干涉仪可作为 OEM 版本作为编码器安装在机器轴上。 SP 5000 DI 可作为真空优化版本提供,用于在真空中进行测量。
标准光束间距为 21 毫米
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