パワーデバイスの加工機としての研削装置の現状について
パワーデバイスの素材であるサファイアとかSiCの表面加工機として従来厚み調整のための研削装置で数百μ削り、その後ラッピング装置で表面粗さを改善しながら厚みも目的の数μ迄持っていき*後にCMP加工で仕上げるのが標準的な作業行程でしたがこの3段の切り替えについて*プロジェクトの後押しもありラッピング行程を省き研削装置で厚みと表面粗さを鏡面迄仕上げることが可能になり大幅な作業行程の短縮が行われてきております。
研削装置の性能改善の中心は装置に使用される砥石の性能が大幅に進歩し、難削材であるサファイアとかSiCを容易に削ると同時に目の細かい砥石の製作により表面粗さもサブナノメーターに到達してるのでこの段階ではラッピングの必要性はなく、ここから直接CMPの行程に移行できます。
砥石の目は#6000より細かければ鏡面状態が得られます。
数百μの削りにはやはり目の粗い砥石が必要で通常#600の砥石を使用しております。
即ち研削装置のもっとも重要なことはどういう砥石を用意するかで仕上がり迄の時間短縮と表面仕上がりを左右します。
1. 不断发展的磨削功能 - 精加工表面亚纳米（镜面）
，在技术创新时代得到提升，磨削功能也随着各种功能的进步而得到改善，其表面也得到了显著改善。
・脆性材料不会因的装置机构而破损，可
研磨·硬质材料也缩短
磨削时间·精加工面的镜面化
-在以往的磨削装置中梨地面精加工一般，但研磨加工区域的镜面精加工是可能的
―平面度、平面粗糙度亚纳米
2.使用线性量具进行自动磨削
和磨削作业，可
设定高精度磨削量3.通过立式检索机构大幅节省空间
| 研磨方法 | 试样轴 | 垂直固定 | |
|---|---|---|---|
| 砂轮部 | 下降磨削方式 自动（研磨量设定）或手动研磨 | ||
| 研磨方法 | 样品安装方法 | 真空夹头或中心螺栓固定 | |
| 样品尺寸 | *直径φ107mm、厚度40mm以下 | ||
| 试样轴转速 | 0～300rpm | ||
| 样品面位置读取 | 线性仪表计数器（自动抛光） | ||
| *小读取值 1μm | |||
| 磨削液供应 | 循环水流（联动泵） | ||
| 砂轮部 | 砂轮部保持法 | 气动平衡 | |
| 砂轮尺寸 | 外径Φ90mm | ||
| 砂轮转速 | 0～600rpm | ||
| 砂轮磨削下降速度 | 自动磨削降 10 至 25μm/min | ||
| 样品保持功能 | 砂轮轴电流检测暂时下降停止机构 | ||
| 设备尺寸 | 主体 | 450×675×900mmH 重量：50kg | |
| 控制单元 | 340×300×270mmH 重量：15kg | ||
| 磨削液泵 | 250×400×500mmH 重量：20kg | ||
| 电源 | AC100V 单相 6A，50/60Hz | ||
| 所需空气压力 | 5kgf/cm² | ||
1 配备台式小型装置自动研磨平台修正装置，可容易且可靠地实现
高精度平面精加工2 通过采用特殊材质的平台和精心挑选的高品质研磨粒，实现精密
3 丰富的安装夹具和资样支撑机构可处理变化丰富的样品
| 包装板 | 直径Φ200~230mm |
|---|---|
| 试样支撑单元安装用杆 | 1（2） |
| 电机 | AC100V 单相 50/60Hz 120W 3.8A |
| 圈式平台转速 | 10rpm～200rpm |
| 转速显示 | 数字显示 |
| 定时器 | 数字显示 、*小设定时间秒 、范围切换、 剩余时间/经过时间显示可 选择、设定时间中途可停止/带复位开关 |
| 辅助电源 | 与定时器相关的 AC100V2 和 定时器互锁 （带开关）AC100V2 |
| 所需电源 | AC100V 单相 50/60Hz |
| 设备尺寸 | 400mm×580mm×620mmH （带防尘盖） |
| 设备重量 | 30kg |
1 台式小型装置，同时配备自动研磨平台修正装置，可轻松且可靠地实现
高精度平面精加工 2 通过采用特殊材质的平台和精心挑选的高品质研磨粒，实现精密
3 4 的设计技术，通过
多种丰富的样品支撑机制处理变化*的样品，生产符合您要求的高精度样品夹具
| 包装板 | 直径φ300×内径≥100mm |
|---|---|
| 试样支撑单元安装用杆 | 2个（可安装各种试样支撑单元） |
| 电机 | AC100V 单相 50/60Hz 120W 3.8A |
| 圈式平台转速 | 10rpm 至 100rpm （慢启动、慢停止） |
| 转速显示 | 数字显示 |
| 定时器 | 数字显示 、*小设置时间 秒 、范围切换、 剩余时间/经过时间 显示选择、 设定时间中途可 停止、带复位开关 |
| 辅助电源 | 与定时器相关的 AC100V2 和 定时器互锁（带开关）AC100V2 |
| 所需电源 | AC100V 单相 50/60Hz |
| 设备尺寸 | 400mm ×580mm ×620mmH（带防尘盖） |
| 设备重量 | 30kg |
1 台式小型装置，同时配备自动研磨平台修正装置，可轻松且可靠地实现
高精度平面精加工 2 通过采用特殊材质的平台和精心挑选的高品质研磨粒，实现精密
3 4 的设计技术，通过
多种丰富的样品支撑机制处理变化*的样品，生产符合您要求的高精度样品夹具
| 包装板 | 直径φ300×内径≥100mm |
|---|---|
| 试样支撑单元安装用杆 | 2 个（可安装各种样品支撑单元） （4 个也可用） |
| 电机 | AC200V 3 相 50/60Hz 400W 1.5A |
| 圈式平台转速 | 15rpm 至 150 rpm （慢启动、慢停止） |
| 转速显示 | 数字显示 |
| 定时器 | 数字显示 · *小设定时间 秒 · 范围 可切换 · 剩余时间 / 经过时间 可显示选择 · 设定时间中途可 停止 · 带复位开关 |
| 辅助电源 | 与定时器相关的 AC100V2 和 与计时器无关的 AC100V2（带开关） |
| 所需电源 | AC200V 3 相 1.5A 50/60Hz 1 个单元 /AC100V 单相 3A 50/60Hz 1 个 |
| 设备尺寸 | 400mm ×580mm ×620mmH （带防尘盖） 和逆变器部分 150mm ×280mm×180mmH |
| 设备重量 | 30kg |
Table-top High Precision Dual-Face Lapping Machine NFD-4BL
1 台式小型装置，同时配备自动研磨平台修正装置，可轻松且可靠地实现
高精度平面精加工 2 通过采用特殊材质的平台和精心挑选的高品质研磨粒，实现精密
3 4 的设计技术，通过
多种丰富的样品支撑机制处理变化*的样品，生产符合您要求的高精度样品夹具
| 包装板 | 直径φ250×内径≥70mm |
|---|---|
| 板类型 | 铸造板和各种纳米盘板 |
| 铜板和锡板 | |
| 托架尺寸 | 4B（齿型M2，齿数50片，外径≥103.6mm） |
| 托架设置数 | 四张 |
| *工件尺寸 | Φ90mm |
| 上平台转速 | 10～100rpm |
| （独立驱动电机 AC100V120W） | |
| 下平台转速 | 10～100rpm |
| （独立驱动电机 AC100V120W） | |
| 太阳齿轮转速 | 10～100rpm |
| （独立驱动电机 AC100V120W） | |
| 减压机构 | 气缸类型 |
| 定时器设定一次减压、二次减压机构 | |
| 上平台移动法 | 摆动方法 |
| 设备尺寸 设备主体 | 450×580×1000mmH 重量：30kg |
| 设备尺寸 | 340×300×270mmH 重量：15kg |
1. 具有面设备安装
的面设备，是一种高利用率的研磨机。 任何人都可以在几分钟内轻松修改包装板的平整度。 在包装加工中，始终追求精度，始终可以获得平坦度稳定的工件。
2. 采用
水冷主轴的水冷主轴，始终保持平台温度恒定，振动小，可实现高精度旋转。
| 包装板 | Φ380mm |
|---|---|
| 高刚性水冷主轴 | 0～350rpm |
| 带慢启动/慢停止功能 | |
| 电机 | 200V 1.5KW |
| 数字显示 | MAX 99 min 59 sec |
| 操作面板 | 99 模式程序输入 |
| 滚轮臂保持类型 | 3 个站 |
| 面单元 | 行程 150mm |
| 面值精度 ±2 μm | |
| 主电源 | 200 V 三相 30A |
| 设备尺寸 | 700mm×1540mm×1000mmH |
| 设备重量 | 850Kg |
| 减压机构 | 气缸类型 |
| 定时器设定一次减压、二次减压机构 | |
| 上平台移动法 | 摆动方法 |
| 设备尺寸 设备主体 | 450×580×1000mmH 重量：30kg |
| 设备尺寸 | 340×300×270mmH 重量：15kg |
| 控制框 |
| 模型 | 旋转板 | 转数 | 机器尺寸 | 重量 |
|---|---|---|---|---|
| EJW-400-IFN | 380mm | 0-350rpm | 700×1600×1400mmH | 600kg |
| EJW-460-IFN | 460mm | 0-350rpm | 1400×1400×1450mmH | 1000kg |
| EJW-610E-3AL | 610mm | 0-80rpm | 1500×900×2100mmH | 1300kg |
| EJW-910E-3AL | 910mm | 0-60rpm | 1800×1500×2200mmH | 3000kg |
