日本FCON气体质量流量控制器2000系列C2005型概述-宁波石川工业技术有限公司

质量流量控制器[Mass Flow Controller]

质量流量控制器通过电信号自动控制气体流量。由于流量控制是通过测量流体的质量进行的，因此无需根据环境温度或使用压力等变化进行校正。质量流量控制器通常用于半导体、平板显示器和太阳能电池板等需要高精度流量测量和控制的工艺和设备，但我们的产品包括分析、燃料电池、有机 EL、生物、文化、食品、环境测量、燃烧气体控制、工厂设备和实验设备。通过专门处理可用于设备的基本性能，实现了低成本的大众流量控制器。

我们的质量流量控制器和相关产品旨在开发基于质量流量测量控制技术的低成本产品。我们还提供高精度、高性能的质量流量控制器。
我们将根据您的应用提出建议，请随时与我们联系！

数字质量流量控制器

2000系列

特点

• 支持 RoHS 和 CE。
通过显示设定器的一体化，只能进行本体的设定控制。
• 驱动电源为 +24VDC 单电源（提供 500mA 或更高交流适配器）。
除了显示设定器一体化外，实现了小型化、节省空间的紧凑尺寸。
易于安装在各种设备设备中。
数字通信：RS485 通信功能作为标准配置。
模拟输入输出信号：可任意切换0-5V和4-20mA 。
搭载累计及流量异常上下限警报功能。
PC 控制应用软件（可选）。
20SLM 现在可用。
可用于制药、培养、生物、焊接、气相沉积涂层、分析、各种研究和实验等广泛领域。
*根据要求，我们将根据要求签发与产品流量校准相关的证书、成绩单和可追溯性系统图。

APP

型号：质量流量控制器	C2005	C2020
型号：质量流量计	M2005	M2020
流量（N2换算流量）	10,20,30,50,100,200,300,500SCCM 1,2,3,5SLM	10SLM	20SLM
兼容气体类型	各种气体（请咨询腐蚀性气体）
阀门类型	NC：常闭（仪表时不适用）
控制流量范围	2 到 * F.S（仪表不符合条件）
流量精度	± 1% F.S（精度保证范围 15 至 35°C）
流量设置（仪表不适用）	本体显示设定器·事件输入输出切换
流量设置（仪表不适用）	数字：RS485 模拟：0.1 至 5VDC/4.3 至 20mA（可选切换）
流量输出	主体显示器：7 段 LED
流量输出	数字：RS485 模拟：0 至 5VDC/4 至 20mA（可选切换）
可重复性	±0.2％ F.S
响应时间	≦2sec
必要差压	50～300KPa	100～300KPa	200～300KPa
压力	1MPa(G)
使用保证温度	5~50°C、85%RH以下
外部泄漏	1×^10-7Pa.m³/sec He
安装姿势	未（免费）
电源电压、电流消耗	+24VDC，小于 250mA
通信方法	数字：RS485 模拟：0 至 5VDC/4 至 20mA（可选切换）
气体接触材料	SUS316、PTFE、氟橡胶
密封部件质	氟橡胶
执行器系统	电磁阀（仪表不适用）
表面处理	加工精加工
连接接头	1/4in. 请咨询SWL（等效产品）、快插接头和其他接头形状。

规格

• 流量单位“SCCM、SLM”为 0°C、1013kPa abs（1atm）校准。
※如果您想在20°C或25°C下校准流量单位“CCM、LM”，请。

外形尺寸

零件号显示

• 流量单位“SCCM、SLM”为 0°C、1013kPa abs（1atm）校准。
※如果您想在20°C或25°C下校准流量单位“CCM、LM”，请。

用于信号电缆和驱动电源的交流适配器

提供以下信号电缆和驱动电源交流适配器的制造和提供。
RS485 new

通信更换单元：用于连接主机和 PC 的数字通信电缆（RJ11） - （转换器） - （USB）和控制应用软件
• 数字通信电缆：（RJ11） - （RJ11）（产品，请联系我们）
模拟通信用电缆：（半间距20针连接器） - （产品请咨询）
■驱动电源用交流适配器： +24VDC （DC22.8~25.2V，500mA以上）
详情请随意咨询。

产品列表

FCON

	数字质量流量控制器 [2000 系列] RoHS、CE对应通过显示设定器的一体化，只能通过本体进行设定控制数字通信：标准搭载RS485通信功能模拟输入输出信号： 0-5V和4-20mA可任意切换搭载累计及流量异常上下限警报功能搭载驱动电源：+ 24VDC 单电源（交流适配器可用）校准证书/校准成绩单/可追溯性系统图可付费签发
	低成本质量流量控制器 [1000 系列] 抑制模拟型号 IN 侧阀打开时的过冲（流量浪涌现象），该模型于质量流量控制器的基本功能，可有偿签发校准证书、校准成绩单/可追溯性系统图，可用于各种分析、培养、生物、制药、医疗、食品、理化等广泛领域。
	控制电源集成质量流量控制器 [CUBEMFC 系列] 只需将 1000 系列和控制电源连接到紧凑型一体式 AC100V 插座即可。校准证书/校准成绩单/可追溯性系统图可以有偿签发，可用于各种分析、培养、生物、制药、医疗、食品、理化等广泛领域。
	气体流量计 [GFM 系列] 配备热传感器。紧凑的尺寸，可测量高达 200LM。低压损耗结构：简单流动路径结构，低压损耗。流量输出信号：模拟（0~5VDC）。可用于各种泵和设备设备的流量测量。

	模拟质量流量控制器 [FCST1000（M）L 系列] 模拟控制的通用型号 / 高质量、高性能高速响应 / RoHS 兼容可用于各种分析、太阳能电池板、燃料电池、光纤、LED、医药、医疗、生物、培养、理化等广泛领域。
	数字质量流量控制器 [FCST1000（M）F 系列] 数字控制标准型号/支持 RoHS 数字接口标准 RS485 支持设备网络通信多 4 种气体数据 INPUT（可选：MG 规格），使用软件多可控制 9 台 PC
	MGMR 质量流量控制器 [FCST1000（M）Z 系列] 多气体多范围（MG/MR）功能型号高精度：± 1%S.P（100-25%）/带耐腐蚀哈斯特罗伊传感器支持 RoHS/数字接口标准 RS485 支持设备网络通信
	高温质量流量控制器 [FCST1000MF-HT 系列] FCST1000MF 系列高温型号 Max80°C 高温兼容/精度：±1%F.S/全流量响应 1 秒内支持 RoHS/数字接口标准 RS485 设备网络通信
	数字质量流量控制器 [FCST2000 系列] 压电阀采用/流量精度±1%S.P 高可靠性隔膜阀/RoHS兼容数字接口标准配备RS485 设备网络通信对应
	自动压力控制器 [PCST1000F 系列] 配备热质量流量传感器、带气体流量监测器的压力控制设备标配报警、累计、运行功能等与数字接口标准配备RS485 外部压力传感器的信号进行比较控制。 EMC 标准（CE）和 RoHS 兼容 [PCST1000F 系列] 详细信息页面
	自动压力控制器 [UPC 系列] 内置压力传感器，可自动保持压力恒定。电信号允许任意压力设置，当连接到质量流量控制器的上游时，可实现非常稳定的流量控制。高温型（150、250°C）、带流量监视的型号也阵容。

	数字质量流量控制器 [2000 系列] RoHS、CE对应通过显示设定器的一体化，只能通过本体进行设定控制数字通信：标准搭载RS485通信功能模拟输入输出信号： 0-5V和4-20mA可任意切换搭载累计及流量异常上下限警报功能搭载驱动电源：+ 24VDC 单电源（交流适配器可用）校准证书/校准成绩单/可追溯性系统图可付费签发
	低成本质量流量控制器 [1000 系列] 抑制模拟型号 IN 侧阀打开时的过冲（流量浪涌现象），该模型于质量流量控制器的基本功能，可有偿签发校准证书、校准成绩单/可追溯性系统图，可用于各种分析、培养、生物、制药、医疗、食品、理化等广泛领域。
	控制电源集成质量流量控制器 [CUBEMFC 系列] 只需将 1000 系列和控制电源连接到紧凑型一体式 AC100V 插座即可。校准证书/校准成绩单/可追溯性系统图可以有偿签发，可用于各种分析、培养、生物、制药、医疗、食品、理化等广泛领域。
	气体流量计 [GFM 系列] 配备热传感器。紧凑的尺寸，可测量高达 200LM。低压损耗结构：简单流动路径结构，低压损耗。流量输出信号：模拟（0~5VDC）。可用于各种泵和设备设备的流量测量。

	模拟质量流量控制器 [FCST1000（M）L 系列] 模拟控制的通用型号 / 高质量、高性能高速响应 / RoHS 兼容可用于各种分析、太阳能电池板、燃料电池、光纤、LED、医药、医疗、生物、培养、理化等广泛领域。
	数字质量流量控制器 [FCST1000（M）F 系列] 数字控制标准型号/支持 RoHS 数字接口标准 RS485 支持设备网络通信多 4 种气体数据 INPUT（可选：MG 规格），使用软件多可控制 9 台 PC
	MGMR 质量流量控制器 [FCST1000（M）Z 系列] 多气体多范围（MG/MR）功能型号高精度：± 1%S.P（100-25%）/带耐腐蚀哈斯特罗伊传感器支持 RoHS/数字接口标准 RS485 支持设备网络通信
	高温质量流量控制器 [FCST1000MF-HT 系列] FCST1000MF 系列高温型号 Max80°C 高温兼容/精度：±1%F.S/全流量响应 1 秒内支持 RoHS/数字接口标准 RS485 设备网络通信
	数字质量流量控制器 [FCST2000 系列] 压电阀采用/流量精度±1%S.P 高可靠性隔膜阀/RoHS兼容数字接口标准配备RS485 设备网络通信对应
	自动压力控制器 [PCST1000F 系列] 配备热质量流量传感器、带气体流量监测器的压力控制设备标配报警、累计、运行功能等与数字接口标准配备RS485 外部压力传感器的信号进行比较控制。 EMC 标准（CE）和 RoHS 兼容 [PCST1000F 系列] 详细信息页面
	自动压力控制器 [UPC 系列] 内置压力传感器，可自动保持压力恒定。电信号允许任意压力设置，当连接到质量流量控制器的上游时，可实现非常稳定的流量控制。高温型（150、250°C）、带流量监视的型号也阵容。

日本FCON气体质量流量控制器2000系列C2005型概述

发布时间：2022-06-25

我们的质量流量控制器和相关产品旨在开发基于质量流量测量控制技术的低成本产品。我们还提供高精度、高性能的质量流量控制器。
我们将根据您的应用提出建议，请随时与我们联系！

数字质量流量控制器

2000系列

数字质量流量控制器
[2000 系列]

低成本质量流量控制器
[1000 系列]

抑制
模拟型号 IN 侧阀打开时的过冲（流量浪涌现象），该模型
于质量流量控制器的基本功能，可有偿签发校准证书、校准成绩单/可追溯性系统图，可用于
各种分析、培养、生物、制药、医疗、食品、理化等广泛领域。

控制电源集成质量流量控制器
[CUBEMFC 系列]

只需将 1000 系列和控制电源连接到紧凑型一体
式 AC100V 插座即可。
校准证书/校准成绩单/可追溯性系统图可以有偿签发，可用于
各种分析、培养、生物、制药、医疗、食品、理化等广泛领域。

气体流量计
[GFM 系列]

配备热传感器。
紧凑的尺寸，可测量高达 200LM。
低压损耗结构：简单流动路径结构，低压损耗。
流量输出信号：模拟（0~5VDC）。
可用于各种泵和设备设备的流量测量。

模拟质量流量控制器
[FCST1000（M）L 系列]

模拟控制的通用型号 / 高质量、高性能
高速响应 / RoHS 兼容
可用于各种分析、太阳能电池板、燃料电池、光纤、LED、医药、医疗、生物、培养、理化等广泛领域。

数字质量流量控制器
[FCST1000（M）F 系列]

数字控制标准型号/支持 RoHS
数字接口标准 RS485
支持设备网络通信
多 4 种气体数据 INPUT（可选：MG 规格）
，使用软件多可控制 9 台 PC

MGMR 质量流量控制器
[FCST1000（M）Z 系列]

多气体多范围（MG/MR）功能型号
高精度：± 1%S.P（100-25%）/带
耐腐蚀哈斯特罗伊传感器支持 RoHS/数字接口标准 RS485
支持设备网络通信

高温质量流量控制器
[FCST1000MF-HT 系列]

FCST1000MF 系列高温型号
Max80°C 高温兼容/精度：±1%F.S/全流量响应 1 秒内
支持 RoHS/数字接口标准 RS485
设备网络通信

数字质量流量控制器
[FCST2000 系列]

压电阀采用/流量精度±1%S.P 高
可靠性隔膜阀/RoHS兼容
数字接口标准配备RS485
设备网络通信对应

自动压力控制器
[PCST1000F 系列]

配备热质量流量传感器、带气体流量监测器的压力控制设备
标配
报警、累计、运行功能等与数字接口标准配备RS485
外部压力传感器的信号进行比较控制。 EMC 标准（CE）和 RoHS 兼容

自动压力控制器
[UPC 系列]

内置压力传感器，可自动保持压力恒定。
电信号允许任意压力设置，当连接到质量流量控制器的上游时，可实现非常稳定的流量控制。
高温型（150、250°C）、带流量监视的型号也阵容。

先导模块质量流量控制器
[智能跟踪系列]

无需控制电源或 PC，只需先导模块即可轻松操作
10 种气体类型变化
数字和模拟均可进行各种输入和输出设置，可用于
各种分析、太阳能电池板、燃料电池、光纤、LED、制药、医疗、生物、培养、理化等广泛领域。

防水防尘质量流量控制器
[MaxTrak 系列]

可圆洗的防水·防尘规格
数字/模拟均可进行
各种输入输出设定选购件可
选择法兰接头 *适合在工厂等恶劣环境下使用。

日本FCON气体质量流量控制器2000系列C2005型概述

发布时间：2022-06-25

我们的质量流量控制器和相关产品旨在开发基于质量流量测量控制技术的低成本产品。 我们还提供高精度、高性能的质量流量控制器。我们将根据您的应用提出建议，请随时与我们联系！

数字质量流量控制器

2000系列

数字质量流量控制器[2000 系列]

低成本质量流量控制器[1000 系列]

抑制模拟型号 IN 侧阀打开时的过冲（流量浪涌现象），该模型于质量流量控制器的基本功能，可有偿签发校准证书、校准成绩单/可追溯性系统图，可用于各种分析、培养、生物、制药、医疗、食品、理化等广泛领域。

控制电源集成质量流量控制器[CUBEMFC 系列]

只需将 1000 系列和控制电源连接到紧凑型一体式 AC100V 插座即可。校准证书/校准成绩单/可追溯性系统图可以有偿签发，可用于各种分析、培养、生物、制药、医疗、食品、理化等广泛领域。

气体流量计[GFM 系列]

配备热传感器。紧凑的尺寸，可测量高达 200LM。低压损耗结构：简单流动路径结构，低压损耗。流量输出信号：模拟（0~5VDC）。可用于各种泵和设备设备的流量测量。

模拟质量流量控制器[FCST1000（M）L 系列]

模拟控制的通用型号 / 高质量 、 高性能高速响应 / RoHS 兼容可用于各种分析、太阳能电池板、燃料电池、光纤、LED、医药、医疗、生物、培养、理化等广泛领域。

数字质量流量控制器[FCST1000（M）F 系列]

数字控制标准型号/支持 RoHS数字接口标准 RS485支持设备网络通信*多 4 种气体数据 INPUT（可选：MG 规格），使用软件*多可控制 9 台 PC

MGMR 质量流量控制器[FCST1000（M）Z 系列]

多气体多范围 （MG/MR） 功能型号高精度：± 1%S.P（100-25%）/带耐腐蚀哈斯特罗伊传感器支持 RoHS/数字接口标准 RS485支持设备网络通信

高温质量流量控制器[FCST1000MF-HT 系列]

FCST1000MF 系列高温型号Max80°C 高温兼容/精度：±1%F.S/全流量响应 1 秒内支持 RoHS/数字接口标准 RS485设备网络通信

数字质量流量控制器[FCST2000 系列]

压电阀采用/流量精度±1%S.P 高可靠性隔膜阀/RoHS兼容数字接口标准配备RS485设备网络通信对应

自动压力控制器[PCST1000F 系列]

配备热质量流量传感器、带气体流量监测器的压力控制设备标配报警、累计、运行功能等 与数字接口标准配备RS485外部压力传感器的信号进行比较控制。 EMC 标准 （CE） 和 RoHS 兼容

自动压力控制器[UPC 系列]

内置压力传感器，可自动保持压力恒定。电信号允许任意压力设置，当连接到质量流量控制器的上游时，可实现非常稳定的流量控制。高温型（150、250°C）、带流量监视的型号也阵容。

先导模块质量流量控制器[智能跟踪系列]

无需控制电源或 PC，只需先导模块即可轻松操作10 种气体类型变化数字和模拟均可进行各种输入和输出设置，可用于各种分析、太阳能电池板、燃料电池、光纤、LED、制药、医疗、生物、培养、理化等广泛领域。

防水防尘质量流量控制器[MaxTrak 系列]

可圆洗的防水·防尘规格数字/模拟均可进行各种输入输出设定 选购件可选择法兰接头 *适合在工厂等恶劣环境下使用。

我们的质量流量控制器和相关产品旨在开发基于质量流量测量控制技术的低成本产品。我们还提供高精度、高性能的质量流量控制器。
我们将根据您的应用提出建议，请随时与我们联系！

数字质量流量控制器
[2000 系列]

低成本质量流量控制器
[1000 系列]

抑制
模拟型号 IN 侧阀打开时的过冲（流量浪涌现象），该模型
于质量流量控制器的基本功能，可有偿签发校准证书、校准成绩单/可追溯性系统图，可用于
各种分析、培养、生物、制药、医疗、食品、理化等广泛领域。

控制电源集成质量流量控制器
[CUBEMFC 系列]

只需将 1000 系列和控制电源连接到紧凑型一体
式 AC100V 插座即可。
校准证书/校准成绩单/可追溯性系统图可以有偿签发，可用于
各种分析、培养、生物、制药、医疗、食品、理化等广泛领域。

气体流量计
[GFM 系列]

配备热传感器。
紧凑的尺寸，可测量高达 200LM。
低压损耗结构：简单流动路径结构，低压损耗。
流量输出信号：模拟（0~5VDC）。
可用于各种泵和设备设备的流量测量。

模拟质量流量控制器
[FCST1000（M）L 系列]

模拟控制的通用型号 / 高质量、高性能
高速响应 / RoHS 兼容
可用于各种分析、太阳能电池板、燃料电池、光纤、LED、医药、医疗、生物、培养、理化等广泛领域。

数字质量流量控制器
[FCST1000（M）F 系列]

数字控制标准型号/支持 RoHS
数字接口标准 RS485
支持设备网络通信
多 4 种气体数据 INPUT（可选：MG 规格）
，使用软件多可控制 9 台 PC

MGMR 质量流量控制器
[FCST1000（M）Z 系列]

多气体多范围（MG/MR）功能型号
高精度：± 1%S.P（100-25%）/带
耐腐蚀哈斯特罗伊传感器支持 RoHS/数字接口标准 RS485
支持设备网络通信

高温质量流量控制器
[FCST1000MF-HT 系列]

FCST1000MF 系列高温型号
Max80°C 高温兼容/精度：±1%F.S/全流量响应 1 秒内
支持 RoHS/数字接口标准 RS485
设备网络通信

数字质量流量控制器
[FCST2000 系列]

压电阀采用/流量精度±1%S.P 高
可靠性隔膜阀/RoHS兼容
数字接口标准配备RS485
设备网络通信对应

自动压力控制器
[PCST1000F 系列]

配备热质量流量传感器、带气体流量监测器的压力控制设备
标配
报警、累计、运行功能等与数字接口标准配备RS485
外部压力传感器的信号进行比较控制。 EMC 标准（CE）和 RoHS 兼容

自动压力控制器
[UPC 系列]

内置压力传感器，可自动保持压力恒定。
电信号允许任意压力设置，当连接到质量流量控制器的上游时，可实现非常稳定的流量控制。
高温型（150、250°C）、带流量监视的型号也阵容。

先导模块质量流量控制器
[智能跟踪系列]

无需控制电源或 PC，只需先导模块即可轻松操作
10 种气体类型变化
数字和模拟均可进行各种输入和输出设置，可用于
各种分析、太阳能电池板、燃料电池、光纤、LED、制药、医疗、生物、培养、理化等广泛领域。

防水防尘质量流量控制器
[MaxTrak 系列]

可圆洗的防水·防尘规格
数字/模拟均可进行
各种输入输出设定选购件可
选择法兰接头 *适合在工厂等恶劣环境下使用。