气体混合器概述
产品指南
触摸屏气体混合器 | |
气体混合器(缓冲罐规格) | |
气体混合器 |
特点
规格
产品名称 | CUBEGM-X系列 |
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大小 | CUBEGM-X2:W350×D400×H280(毫米) * 不包括 CUBEGM-X3:W430×D400 ×H280 (mm) * 不包括 投影 CUBEGM-X4:W510×D400×H280 (mm) * 不包括投影 |
输入电源 | AC100V |
电流消耗 | MAX 2.3A = 配备 4 个质量流量控制器 |
流量范围 | 1线:F.S.10SCCM~20SLM ※但混合气体流量为50SLM以下 |
流量控制 | MFC:C1000 系列或 FCST1000 系列 |
流量设定/输出显示 | 0~5VDC |
INLET、OUTLET 阀 | 电磁阀 |
外部泄漏 | ≦ 5×10-7Pa.m3/sec He |
耐压 | 1MPa |
气体接触材料 | SUS316、PTFE、氟橡胶 (FCST1000系列:磁性不锈钢、氟橡胶或氯丁橡胶) |
管道连接 | 1/4in. 请咨询SWL(等效产品)和其他接头。 |
使用环境 | 温度:5~50°C 精度保证范围:15~35°C 湿度30~80%(无冷凝) |
配件 | 交流电缆 (2m),用户手册 |
上述规格,有一个项目,因质量流量控制器的安装数量而异。 有关其他规格,请联系我们。
流程图(以程为 3 个系统。 )