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我国传感器技术发展的若干问题及发展方向传感器技术是实现自动控制、自动调节的关键环节,也是机电一体化系统不可缺少的关键技术,其水平高低在很大程度上影响和决定着系统的功能;其水平越高,系统的自动化程度就越高。在一套完整的机电一体化系统中,如果不能利用传感检测技术对被控对象的各项参数进行及时准确地检测出并转换成易于传送和处理的信号,我们所需要的用于系。统控制的信息就无法获得,进而使整个系统就无法正常有效的工作。
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4WRKE10E-100L-3X/6EG24ETK31/F1D3M
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4WRKE 16 W8-200L-31/6EG24ETK31/A1D3M
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4WRKE27-W6-500L-3X/6EG24EK31/F1-D3M
实际上，等离子体之所以成为现代制造技术的重要手段，是由其能量状态决定的。物体由固体到等离子体态的转化过程中，都伴随有足够能量的输入，见图1。所以作为一种物质形态的等离子体具有的能量状态，为现代材料加工提供了巨大潜力。本文简要介绍了工业用等离子体的分类及等离子体加工技术涉及的科学工程问题。围绕材料添加与去除加工，讨论了等离子体喷涂、增强沉积、离子去除等若干典型加工工艺的技术发展和应用情况，并对一些工艺出现的现象以及某些有待深入研究的潜在科学问题进行了举例说明。离子体制造(加工)技术简介等离子体的分类有多种方法，但在工业上用的等离子体通常按温度分类见表1[4]，用的较多的是非平衡等离子体和热能离子体中的低温等离子体。一般情况下，低温热等离子体比非平衡的等离子体的压力高。实际上，也正是它们的工作压力不同，使它们的作用机理发生了变化。低气压时，粒子间的碰撞频率较低，主要作用是带电粒子与被处理材料之间发生的物理过程。随着压力的增加，碰撞次数增加，化学过程开始充当主要角色。
