​ 日本advance riko风冷桌面型快速退火炉MILA-700AR

日本advance riko风冷桌面型快速退火炉MILA-700AR

用途

• 晶圆，复合晶圆的快速加热

• 光化学气相沉积衬底加热

• 热循环测试

• 涂膜的耐热性评估

• 有机材料和树脂的加热和干燥

特長

• 50°C / s快加热

• 可在真空，惰性气体，流动气氛，空气的气氛下进行加热

• 的温度控制

• 紧凑的台式设计

仕様

控温范围	RT ～ 700 °C
样品尺寸	□ 或φ20mm x 2mm （T）
加热气氛	真空，静态气氛，流动气氛，空气

日本advance riko风冷桌面型快速退火炉MILA-700AR

用途

• 晶圆，复合晶圆的快速加热

• 光化学气相沉积衬底加热

• 热循环测试

• 涂膜的耐热性评估

• 有机材料和树脂的加热和干燥

特長

• 50°C / s快加热

• 可在真空，惰性气体，流动气氛，空气的气氛下进行加热

• 的温度控制

• 紧凑的台式设计

仕様

控温范围	RT ～ 700 °C
样品尺寸	□ 或φ20mm x 2mm （T）
加热气氛	真空，静态气氛，流动气氛，空气

用途

• 晶圆，复合晶圆的快速加热

• 光化学气相沉积衬底加热

• 热循环测试

• 涂膜的耐热性评估

• 有机材料和树脂的加热和干燥

特長

• 50°C / s快加热

• 可在真空，惰性气体，流动气氛，空气的气氛下进行加热

• 的温度控制

• 紧凑的台式设计

仕様

控温范围	RT ～ 700 °C
样品尺寸	□ 或φ20mm x 2mm （T）
加热气氛	真空，静态气氛，流动气氛，空气

日本advance riko风冷桌面型快速退火炉MILA-700AR

用途

• 晶圆，复合晶圆的快速加热

• 光化学气相沉积衬底加热

• 热循环测试

• 涂膜的耐热性评估

• 有机材料和树脂的加热和干燥

特長

• 50°C / s快加热

• 可在真空，惰性气体，流动气氛，空气的气氛下进行加热

• 的温度控制

• 紧凑的台式设计

仕様

控温范围	RT ～ 700 °C
样品尺寸	□ 或φ20mm x 2mm （T）
加热气氛	真空，静态气氛，流动气氛，空气