悬浮分子污染(AMC)4.1AMC的分类及控制要求情况AMC作为IC工厂所关心的问题于2年前先由日本人提出，近年来，IC生产园片直径已达3mm，工艺加工尺寸(线宽)已小于.15m，在某些加工工序及工序间园片的传送和存放环境中AMC已成为严重影响成品率的问题，已被清楚的认识到，AMC的控制已由谈论转到需要实施。对于IC生产，AMC分为D四类，即：A酸性物质，如Hcl等;B碱性物质，如NH3等;C沸点高于室温能在光洁表面冷凝的物质，主要是碳氢化合物，某些工艺加工环境中的水蒸汽亦需要考虑;D掺杂物质，能为园片表面吸附或与表面相互反应的物质，如砷、硼、磷等。
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化验室离心机分离转速和时间的确定原则：样品成分：粘附性小的样品容易沉降分离，粘附性强的样品不易沉降分离。样品各组分的比重差：样品各组分的比重差大，容易沉降分离。各组分的比重差小，不易沉降分离。颗粒大小：大颗粒容易沉降分离，小颗粒不易沉降分离。粘度：样品中液体粘度小，容易沉降分离。液体粘度大，不易沉降分离。分离要求：分离要求高，可选择较高的分离转速和较长的分离时间。一般而言，样品的粘附性小、各组分的比重差大、颗粒大、液体粘度小，可选择分离转速低些、分离时间短些。
