光学元件在各个领域都有广泛应用，对光学元件的表面加工精度提出越来越高的要求。如何检测光学元件的加工精度，从而用于优化加工方法，保证*终元器件的性能指标，是光学元件加工领域的关键问题。
光学元件的加工精度包括表面质量和面型精度，这些参数会影响其对光信号的传播，进而影响*终器件的性能。
此外，各种*光学元件也需要检测其表面轮廓，比如非球面，衍射光学元件，微透镜阵列等。
除了*终光学元件的加工精度以外，各种光学元件加工工艺也需要检测中间过程的三维形貌以保证*终产品的精度，包括注塑、模压的模具，光学图案转印时的掩膜版，刻蚀过程的图案深度、宽度等。
布鲁克的三维光学显微镜配备双光源技术，同时实现白光干涉和相移干涉成像，适用于各种不同光学样品、模具的三维形貌测量。在光学加工领域得到广泛应用。
· 设备可以用于光学元件表面质量检测，可以通过表面粗糙度、表面斜率分布等判断光学元件整体散射率，也可以统计局部的各种缺陷。
· 设备还可以用于各种光学元件的面型分析，除了手动分析以外，软件还提供了包括Zernike多项式拟合、非球面分析等功能。
· 由于该设备能准确测量和分析光学元件，在多种*光学元件中得到广泛应用，包括光栅、菲涅尔透镜和二元光学元件等衍射光学元件，以及微透镜阵列等。
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