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APD的工作模式分为线性模式和盖革模式两种。当APD的偏置电压低于其雪崩电压时,对入射光电子起到线性放大作用,这种工作状态称为线性模式。在线性模式下,反向电压越高,增益就越大。APD对输入的光电子进行等增益放大后形成连续电流,获得带有时间信息的激光连续回波信号。当偏置电压高于其雪崩电压时,APD增益迅速增加,此时单个光子吸收即可使探测器输出电流达到饱和,这种工作状态称为盖革模式。工作在盖革模式下的APD又被称作SPAD。
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?具有较强的抗干扰能力,对环境条件的要求不像激光干涉传感器那样严格,但不如感应同步器和磁栅式传感器的适应性强,油污和灰尘会影响它的可靠性。主要适用于实验室条件下工作,也可在环境较好的车间中使用。?高精度光栅的制作成本高。光栅式传感器在几何量测量领域中多用于测量长度(或直线位移)和角度(或角位移)。具体应用有如下几个方面:?长度和角度的精密计量仪器。如线值计量的工具显微镜、测长仪、比长仪,以及三坐标测量机等;角度计量的分度头、圆转台,以及度盘检验仪等。