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通过硬件中断可以监控，并且可以触发对变化的响应。数字量输入模块：根据具体参数设置，该模块可在状态变化的上升沿、下降沿或上升沿和下降沿上为每个通道组触发硬件中断。CPU将中断用户程序或低优先级任务的处理，并处理相关诊断中断块(OB40)。模块可以每个通道缓冲一个中断。模拟量输入模块：通过设置上限值和下限值，可以定义工作范围。模块将数字化测量值与这些限值进行比较。若测量值违反其中任何一个限值，就会触发硬件中断。CPU将中断用户程序或低优先级任务的处理，并处理相关诊断中断块(OB40)。若限值高于/低于过量程/欠量程值，则不进行进行比较。S7-300F的安全功能包含在CPU的F程序中，并且位于故障安全模块之内。模块通过差异分析和注入来监控输出和输入。通过定期自检、命令以及按时间顺序执行的逻辑程序执行检查，CPU可检查控制器的运行是否正常。此外，通过状态(sign-of-life)请求，还可以检查I/O状况。若在中诊断出故障，则将切换到安全状态。CPU315F与安全有关的程序采用STEP7语言的梯形图（LAD）和功能图（FBD）编制。
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