横河横河電機株式会社電機株式会社
低濃度ジルコニア式酸素濃度計 OX400は、横河電機の酸素濃度計の長年の経験と実績をもとに0-10 ppmO2の低濃度から0-100 vol%O2まで1台で測定できる高精度・高信頼性の酸素濃度計です。
低濃度ジルコニア式酸素濃度計 OX400
センサは、横河電機独自の薄膜形成法を採用し、ジルコニア素子と白金が分子的に結合するため剥離がなく、高速応答で長寿命の小型・高信頼性ジルコニアセンサです。
半導体の拡散炉、乾燥炉、液晶製造プロセスにおける酸素濃度管理、ハンダ槽フロー・リフロー炉、グローブボックス、ガス製造プロセスにおける酸素濃度管理、粉体移送の粉塵爆発対策用酸素濃度測定等に使用できます。
特長
長寿命・高速応答
高性能・高信頼性
各種機能を内蔵、自己診断機能を充実
優れたメンテナンス性
詳細
仕様
測定対象ガス
不活性ガス中の酸素濃度（シリコン、可燃性ガス、腐食性ガス、毒性ガスを除く。水滴等の液体を含まないこと）
測定原理
ジルコニア式
サンプリング方式
ポンプまたはアスピレータまたは吸引装置なしから選択
測定範囲
0-10 ppm O2～0-100 vol％O2
特性
繰返し性
±1％FS
直線性
±2％FS 但し、0-100 ppm 以下では±3％FS
応答性
90%応答 0-1vol％以上；10 秒以内
ドリフト
±2％FS/週
