技术指标
介质：与材质兼容的洁净气体
材质：316 不锈钢，416 不锈钢，Viton® O 形环。
精度：±1% FS 包括线性度59 - 77°F（15 - 25°C）和10 -60 psia（0.7 - 4 bar）；±2% FS 32 - 122°F（0 - 50°C），
5 - 150 psia（0.3 - 10 bar）
重复性：±0.15%（全量程）
响应时间：在20% - FS 以上设定值的±2% 以内为0.6 - 1.0 秒
输出：线性0 - 5 直流电压（2000 Ω 小负载阻抗）；0-10
直流电压（4000 Ω 小负载阻抗）
大微粒直径：100 微米
温度范围：41 - 122°F（5 - 50°C）
电源：±15直流电压；大功率13.5 瓦
工艺连接：在流速≤50 L/m 时，采用1/4˝ 压紧接头；流速≥60 L/m 时则用3/8˝
压力范围：500 psig（34.5 bar）
漏率：1 x 10-9 sccs of Helium
计算机接口：RS-485
机构：CE
型号
型号* 量程 型号* 量程
DMF-41401 0 to 10 sccm DMF-41408 0 to 2 L/min
DMF-41402 0 to 20 sccm DMF-41409 0 to 5 L/min
DMF-41403 0 to 50 sccm DMF-41411 0 to 15 L/min
DMF-41404 0 to 100 sccm DMF-41431 0 to 30 L/min
DMF-41405 0 to 200 sccm DMF-41433 0 to 50 L/min
DMF-41406 0 to 500 sccm DMF-41842 0 to 100 L/min
DMF-41407 0 to 1 L/min
