日本ayumi 高真空L型阀
特征
多用途真空排气用L型阀系列。
25A、40A、50A主体按连接法兰和驱动系统分类。
体积小，电导大。
结构简单，价格低廉。
各种尺寸的空气驱动型均可制造，使用寿命长达 1,000,000 次循环。
| 轴封O形圈型 | 轴封波纹管式 | |
| 工作压力 | 大气压力至10 -5 Pa | 大气压力至10 -7 Pa |
| 泄漏量 | 6.5×10 -9 Pa・m 3 /秒 | 6.5×10 -10帕・立方米/秒 |
| 材料 | 固定密封：Viton 轴封：环 体：SUS304 | 固定密封：Viton 轴密封：波纹管 主体：SUS304 |
| 工作气压 | 0.4MPa以上 | 0.4MPa以上 |
日本ayumi 高真空L型阀
特征
多用途真空排气用L型阀系列。
25A、40A、50A主体按连接法兰和驱动系统分类。
体积小，电导大。
结构简单，价格低廉。
各种尺寸的空气驱动型均可制造，使用寿命长达 1,000,000 次循环。
| 轴封O形圈型 | 轴封波纹管式 | |
| 工作压力 | 大气压力至10 -5 Pa | 大气压力至10 -7 Pa |
| 泄漏量 | 6.5×10 -9 Pa・m 3 /秒 | 6.5×10 -10帕・立方米/秒 |
| 材料 | 固定密封：Viton 轴封：环 体：SUS304 | 固定密封：Viton 轴密封：波纹管 主体：SUS304 |
| 工作气压 | 0.4MPa以上 | 0.4MPa以上 |
