A06B-6079-H201 FANUC

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把功率电桥、驱动电路、检测电路、保护电路等封装在一起，构成了一种“智能电力模块”这种器件属于绝缘金属基底结构，所以防电磁干扰能力强，保护电路和检测电路与功率开关间的距离尽可能的小，因而保护迅速且可靠，传感信号也十分迅速。

Foxboro（福克斯波罗）：I/A Series系统，FBM全系列（现场输入/输出模块）
顺序控制、梯形逻辑控制、事故追忆处理、数模转换、输入/输出信号处理、
数据通信及处理等。
EMERSON（艾默生）：1C31系列DCS系统、CPU、OVATION系统、WDPF系统、
WEStation系统备件。
Triconex（英维思）:冗余容错控制系统、基于三重模件冗余（TMR）结构的*现代化的容错控制器。
EMERSON（艾默生）:模块、卡件、驱动器等各类备件。

AMAT XR80 Implanter Gas Interface 9090-00106 ITL

MKS ASTeX ASTRONex Remote Plasma Source FI80131 working

MKS ASTeX ASTRONex AX7685-20 Rev. A Remote Plasma Sour

Ebara ET300WS Turbo-Molecular Pump AET08-1017  3620-

Ebara ET300WS-A Turbo-Molecular Pump 42WS004BC  3620

MKS ASTeK ASTRON2L Remote Plasma Source AX7658-AMAT-01 

MKS ASTeX ASTRONex Remote Plasma Source FI80131 Rev.C w

AE Advanced Energy Apex 3013 RF Generator 3156114-005 R