海南gmp车间高效过滤器检漏机构中心--持正检测
在待测HEPA上游一侧引入PAO气溶胶。对于HVAC系统中的HEPA,为使气溶胶到达HEPA时时的浓度均匀，可将气溶胶直接从系统风机的负压一侧引入，如要从风管中引入，则应在距HEPA至少10倍风管直径处引入，并尽量减少拐弯（美国环境科学和技术学会）。
海南gmp车间高效过滤器检漏机构中心--持正检测 高效过滤器检漏即通常所说的高效过滤器完整性测试，高效过滤器检漏的方法较多，比如气溶胶检漏法、粒子计数器检漏法，目前主要采用的方法是 PAO 检测法，PAO（聚 α- 烯烃）是常用的气溶胶材料，具有良好的低温流动性和高温特性，不易分解且毒性极小，是较为安全的气溶胶检测尘源。
检测频度： 在安装或更换高效过滤器时应进行检测。正常使用情况下，每年至少检测一次。
海南gmp车间高效过滤器检漏机构中心--持正检测二、检测方法：采用扫描法对高效过滤器的安装接头和主段进行检查，检测点距被测表面20～30mm,测量头以5～20mm/s的速度移动，对待检测的过滤器的全断面、密封头和安装框架进行扫描。
海南gmp车间高效过滤器检漏机构中心--持正检测 目前，高效过滤器泄漏检测的主要方法有气胶光度计检测法、微粒体计数器检测法、全效率检测法、外气检测法4种。
钠焰法，此法采用火焰光度计，对NaCL燃烧的火焰色度作响应，相关标准见我国“高效空气过滤器GB13554-92“，灵敏度低，且NaCl对微电子产品质量有害国外已不用。
海南gmp车间高效过滤器检漏机构中心--持正检测 检测要求：1.1测试方法：PAO检漏法；1.2测试范围：对于公司所有安装有高效过滤器的洁净室，包括生产车间、化验室等洁净区内的高效过滤器，都必须在现场进行检查检漏。
高效过滤器的检漏的原理：在被检测高效过滤器上风侧发DOP气溶胶作为尘源，在下风侧用光度计采样检测，含尘气体经过光度计时产生的散射光经光电效应和线性放大转换为电量，并由微安表快速显现，采集到的空气样品经过光度计的扩散室，由于粒子扩散惹起灯光强度的差别，经测定这个光强度，光度计便可测得气溶胶的相对浓度。
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