@海南洁净室高效过滤器检漏包括哪些项目--持正检测 DOP/PAO检漏原理：高效过滤器的检漏通常采用PAO发生器在滤器上游发尘，使用气溶胶光度计检测滤器上下游气溶胶浓度来判定滤器是否有泄漏。发尘的目的是因高效过滤器上游尘粒浓度较低，仅用粒子计数器在不发尘的情况下检测，较难发现有泄漏，需补充发尘才能明显、容易地发现泄漏。当气流被真空泵抽至光散射室时，其中的颗粒物质散射光线至光电倍增管。在光电倍增管中，光被转换成电信号，此信号经放大和数字化后由微处理器分析，从而测定散射光的强度。通过与参比物质产生的信号的对比，可以直接测量气体中颗粒物质的质量浓度，因此其用途十分广泛。
海南洁净室高效过滤器检漏包括哪些项目--持正检测实际存在的问题：高效过滤器一般都在系统风量和各风口风量调整平衡后进行，根据规范要求各风口风量与设计的风量偏差小于15％，这满足被检风口在接近设计风速下进行的条件。所以当风量平衡好后要及时进行高效过滤器泄漏的检测工作。
具体的高效过滤器检漏流程主要包括以下： 1、对高效过滤器上游注入气溶胶；在待测高效过滤器HEPA上游一侧引入PAO气溶胶对于HVAC系统中的HEPA，为使气溶胶到达高效过滤器时时的浓度均匀，可将气溶胶直接从系统风机的负压一侧引入，如要从风管中引入，则应在距高效过滤器至少10倍风管直径处引入，并尽量减少拐弯(美国环境科学和技术学会)。一般情况下，保持上游气溶胶达到要求浓度，且浓度波动在一定范围即可。对于层流罩、净台上的高效过滤器，气溶胶直接从系统风机的负压一侧引入。 2、调节发生的气溶胶浓度 气溶胶光度计初始化、设定*、0%参比标准值按照气溶胶光度计操作要求进行初始化、设定报警值。将UPSTREAM采样管与上游采样口相连，测量上游气溶胶的浓度。按照气溶胶发生器操作要求调节发生的气溶胶浓度，使上游气溶胶浓度达到10~20ug/mL.
海南洁净室高效过滤器检漏包括哪些项目--持正检测4)MPPS法(MostPenetratiableParticulateSize)；欧洲通行空调过滤器，美国除工业外通行，个别企业实行。能够丈量简直一切HEPA与ULPA过滤器，具有取代传统办法的大趋向。 人们曾以为过滤器对0.3μm粉尘的过滤效率低，因而在评价高效过滤器时，将它对0.3μm粉尘的过滤效率作为典型值。有很多办法能够产生并丈量0.3μm粉尘，于是就有了诸如DOP、油雾、钠焰等办法。 经过研讨实验发现应用能够测到0.1μm粒径粉尘的激光粒子计数器，不只能够测出粉尘浓度，也能够测出每个粉尘的粒径，于是就能够便当地测出那个效率低的典型值，对应那个典型值的粉尘粒径就是MPPS(MostPenetratiableParticulateSize，易穿透粒径)，与MPPS对应的那个效率低的数值就是MPPS效率。 相关规范：美国IEST-RP-CC-007.1-1992,欧洲EN1822-5:2000
海南洁净室高效过滤器检漏包括哪些项目--持正检测 二、检测方法：采用扫描法对高效过滤器的安装接头和主段进行检查，检测点距被测表面20～30mm,测量头以5～20mm/s的速度移动，对待检测的过滤器的全断面、密封头和安装框架进行扫描。
高效过滤器本体在进入现场前，生产厂家应按规定进行性能试验检测（如DOP试验等），并提供合格证（含性能试验结果）对于5级（100级）以上洁净室用高效过滤器、高效过滤器在现场应再次进行高效过滤器本体的性能检测。同时也要为确认高效过滤器的正确安装状态进行泄漏试验。而在大规模集成电路生产的洁净技术中（如0.1μm，1级），由于新风量往往仅是循环风量的百分之几，经过稀释上风侧也变成6级（1000级）的程度，因此，在这种情况下，就必须重新考虑采用DOP检漏试验。
海南洁净室高效过滤器检漏包括哪些项目--持正检测 泄漏的定义是泄漏出上游浓度万分，由于气胶光度计可以直接显示上下游微粒浓度的比值，因此扫描高效空气过滤器非常方便。也正因其准确、可靠，美国食品与药品管制局（FDA）规定，在其管辖范围内（食品加工场所与医疗制药场所），所有的高效空气过滤器泄漏测试必须使用DOP与气胶光度计。一段时间以来，因被怀疑对人有致癌作用，现常以 DOS （ Dioctylsebaeate 癸二酸二辛脂）亦称 DEHS[di(2-ethylexyl)sebacate] 及 PAO(polyaphaolefin 聚 a 烯烃）等代替，但实验方法仍称“ DOP 法”。大气尘由于其浓度随地点及时间等变化，有时较大，有时较低，一般不用来作为检漏用。 FDA 指出在进行检漏时，选用的气溶胶应符合一定的理化要求，不应使用会引起微生物污染、造成微生物滋生的气溶胶。DOP 发生器可分为热发生和冷发生两种，热发生器是利用蒸发冷凝的原理，被雾化的气溶胶粒子用加热器蒸发，并在特定条件下冷凝成微小液滴，去掉过大和过小的液滴后留下 0.3um 左右的雾状 DOP 进入风道，粒径分布在 0.1 ～ 0.3um 。冷发生器是指利用压缩空气在液体中鼓气泡，经 laskin 喷管飞溅产生物态的多分散相 DOP 气溶胶，*分布粒径在 0.65um 左右 。目前常用的热DOP比较多，所以过滤器的效率要有保证。
结果分析：检测结束后，应对本次检测进行结分析，形成《高效过滤器检漏结果报告》，其必须说明：本次检漏对车间级区个房间个已安装高效过滤器进行泄漏测试，测试数据证明：该区域已安装的高效过滤器的完整性和安装的密封性；列举所有被检测的高效过滤器的相应结果判断：符合相关标准的要求，可以投入使用；部分高效过滤器泄漏，需更换后重新测试；部分高效过滤器与静压箱连接的边框泄漏，需拆卸重新安装或采取相应的密封措施后重新测试。
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