日本福乐FLUORO真空吸笔C系列导电型

发布时间:2023-04-19

真空镊子C系列(导电型)的特点

提高晶圆制程的工作效率
  • 真空镊子的主体使用含有碳纤维的尼龙树脂(Torayca),具有优异的物理性能和导电性。此外,内部阀门部分使用氟树脂,并采用不损害气密性的特殊成型方法采用碳纤维覆盖周围的结构。因此,可以像传统的 F 系列一样顺畅地打开和关闭阀门。()
  • 主机后部连接的尼龙接头由比阻值10的6次方±2次方控制。
  • 吸附头采用含有碳纤维和纳米碳管的导电PEEK树脂材料制成,具有优异的耐化学性、耐热性和韧性,机加工后经热处理和镜面处理,长期使用稳定。表现。
  • 吸附吸头有多种尺寸可供选择,并且可以从多种晶圆尺寸中进行选择。

真空镊子C系列组合样品(以下为示例,组合因输送物料的大小和特性而异)

【注意】
C002、C003使用高于-70kPa的真空压力时,如果主机底部的孔被堵住,会出现不便吸附的现象。购买时,请咨询经销商或本公司。
在室温下使用真空镊子。

真空镊子C系列(导电)6英寸晶圆设置示例

6寸晶圆转移镊子

规格

代号 姓名 材料
尺寸(毫米)
T.
W。
L1
L2
外径
67

适用于 6 至 8 英寸的导电多孔*(*注)

导电PEEK

3.5

31

39

129

0.8

91

适用于 6 英寸的导电 Y 型*

导电PEEK

3个

26

33

89

 
96

适用于 6 英寸的导电 X 型*

导电PEEK

3个

27

32

43

 
转移6英寸晶圆的镊子图

*注:由于制作方法的原因,多孔芯片腔体内部存在无法去除的毛刺。请提前原谅我。

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