真空镊子C系列(导电型)的特点
真空镊子C系列组合样品(以下为示例,组合因输送物料的大小和特性而异)
【注意】
C002、C003使用高于-70kPa的真空压力时,如果主机底部的孔被堵住,会出现不便吸附的现象。购买时,请咨询经销商或本公司。
在室温下使用真空镊子。
真空镊子C系列(导电)6英寸晶圆设置示例
规格
代号 | 姓名 | 材料 |
尺寸(毫米)
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T.
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W。
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L1
|
L2
|
外径
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67 |
适用于 6 至 8 英寸的导电多孔*(*注) |
导电PEEK |
3.5 |
31 |
39 |
129 |
0.8 |
91 |
适用于 6 英寸的导电 Y 型* |
导电PEEK |
3个 |
26 |
33 |
89 |
|
96 |
适用于 6 英寸的导电 X 型* |
导电PEEK |
3个 |
27 |
32 |
43 |
*注:由于制作方法的原因,多孔芯片腔体内部存在无法去除的毛刺。请提前原谅我。