真空镊子F系列（耐化学腐蚀型）的特点
由于难以获得 3F（PCTFE）材料，F 系列真空镊子的 3F *将停产。除此之外，还有两种类型的提示：PEEK 和 Vespel。另外，3F制造的按钮、弹簧夹头等大部分零件都是用PEEK制造的。
真空镊子F系列组合样品（以下为示例，组合因输送物料的大小和特性而异）
【注意】
F002、F003使用高于-70kPa的真空压力时，若主体底部的孔被堵住，会出现不便吸附的现象。购买时，请咨询经销商或本公司。
在室温下使用真空镊子。
真空镊子F系列（耐化学性）4英寸晶圆的设置示例
规格
| 代号 | 姓名 | 材料 |
尺寸（毫米）
|
||||
|
处罚
|
副裁
|
T.
|
W。
|
L1
|
L2
|
||
| 06 |
4 英寸的 X/Z * |
|
|
2.6 |
十 |
21 |
30 |
真空镊子F系列（耐化学性）5英寸晶圆的设置示例
规格
| 代号 | 姓名 | 材料 |
尺寸（毫米）
|
||||
|
处罚
|
副裁
|
T.
|
W。
|
L1
|
L2
|
||
| 01 |
5 英寸的 X/Z * |
|
|
2.7 |
15 |
26 |
35 |
| 02 |
5 英寸的 X/Z * |
|
|
2.7 |
13 |
21 |
30 |
