line;color:#666666;">
排气系统：涡轮分子泵TG220FCAB，Osaka Vacuum Co., Ltd.制造
排气速度：220L/sec(N2)
腔室尺寸：φ300×L 300mm
line;color:#666666;"> *此数据为实测值，并非保证值。
| 模型 | KS-3101 |
|---|---|
| 检测方法 | 振动表面电位传感器 |
| 真空度 | 10 5 Pa（大气压力）、10 -1至10 -5 Pa |
| 测量范围 |
HIGH量程：0～±20.0kV（测量距离100mm）
LOW量程：0～±2000V（测量距离10mm）
|
| 测量精度 | ±10%以内 |
| 警报 | 检测传感器故障LED显示 |
| 使用环境 | 温度0-40℃，湿度65%以下（无结露） |
| 大量的 | 约 130g（不包括电缆和控制盒） |
| 配置要领 |
真空电缆：KS-3101-C01（电缆长度1m，可延长）
控制箱：KS-3101-B05（带大气侧电缆5M，可延长）
控制器：KSD-0110 或 KSD-0120
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排气系统：涡轮分子泵TG220FCAB，Osaka Vacuum Co., Ltd.制造
排气速度：220L/sec(N2)
腔室尺寸：φ300×L 300mm
line;color:#666666;"> *此数据为实测值，并非保证值。
| 模型 | KS-3101 |
|---|---|
| 检测方法 | 振动表面电位传感器 |
| 真空度 | 10 5 Pa（大气压力）、10 -1至10 -5 Pa |
| 测量范围 |
HIGH量程：0～±20.0kV（测量距离100mm）
LOW量程：0～±2000V（测量距离10mm）
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| 测量精度 | ±10%以内 |
| 警报 | 检测传感器故障LED显示 |
| 使用环境 | 温度0-40℃，湿度65%以下（无结露） |
| 大量的 | 约 130g（不包括电缆和控制盒） |
| 配置要领 |
真空电缆：KS-3101-C01（电缆长度1m，可延长）
控制箱：KS-3101-B05（带大气侧电缆5M，可延长）
控制器：KSD-0110 或 KSD-0120
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