SIGMA西格玛反射镜TFMHPQ-30C05-343
SIGMA西格玛反射镜TFMHPQ-30C05-343
对于 TFMHP 系列，根据 YAG 激光的波长，可提供用于基波 (1064nm) 至 4 次谐波 (266nm) 的反射镜以及用于 ArF (193nm) 和 KrF (248nm) 准分子激光的反射镜。
对于 TFMPQ 系列，可根据 Yb 激光器的波长提供基波 (1030nm)、2 次谐波 (515nm)、3 次谐波 (343nm) 和 4 次谐波 (257nm) 的反射镜。
获得高反射率，因此即使反射多个反射镜，光量也不会大幅衰减。
由于采用了不吸光的电介质多层膜，因此可以承受连续的大功率激光照射。
| 材料 | TFMHP：BK7 TFMHPQ：合成石英 |  |
|---|---|---|
| 涂层 | 电介质多层膜 | |
| 入射角 | 45°±3° | |
| 基材表面精度 | λ/10 | |
| 平行度 | ＜3′ | |
| 划痕 | 10-5 | |
| 有效直径 | 外径的90% | |
| 背面 | 抛光面 | |
| 功能图 | 方面 |
 |  |
| 零件号 | 自适应波长 | 外径 φD | 厚度 t | 反射率 | 激光损伤力* |
|---|---|---|---|---|---|
| TFMHP-25.4C05-193 | 193nm | φ25.4mm | 5毫米 | >95% | 2焦耳/平方厘米 |
| TFMHP-30C05-193 | 193nm | φ30mm | 5毫米 | >95% | 2焦耳/平方厘米 |
| TFMHP-50C08-193 | 193nm | φ50mm | 8毫米 | >95% | 2焦耳/平方厘米 |
| TFMHP-25.4C05-248 | 248纳米 | φ25.4mm | 5毫米 | >98% | 4焦耳/平方厘米 |
| TFMHP-30C05-248 | 248纳米 | φ30mm | 5毫米 | >98% | 4焦耳/平方厘米 |
| TFMHP-50C08-248 | 248纳米 | φ50mm | 8毫米 | >98% | 4焦耳/平方厘米 |
| TFMHP-25.4C05-266 | 266 纳米 | φ25.4mm | 5毫米 | >98% | 5焦耳/平方厘米 |
| TFMHP-30C05-266 | 266 纳米 | φ30mm | 5毫米 | >98% | 5焦耳/平方厘米 |
| TFMHP-50C08-266 | 266 纳米 | φ50mm | 8毫米 | >98% | 5焦耳/平方厘米 |
| TFMHP-25.4C05-355 | 355 纳米 | φ25.4mm | 5毫米 | >99% | 8焦耳/平方厘米 |
| TFMHP-30C05-355 | 355 纳米 | φ30mm | 5毫米 | >99% | 8焦耳/平方厘米 |
| TFMHP-50C08-355 | 355 纳米 | φ50mm | 8毫米 | >99% | 8焦耳/平方厘米 |
| TFMHP-25.4C05-532 | 532nm | φ25.4mm | 5毫米 | >99% | 26.5J/平方厘米 |
| TFMHP-30C05-532 | 532nm | φ30mm | 5毫米 | >99% | 26.5J/平方厘米 |
| TFMHP-50C08-532 | 532nm | φ50mm | 8毫米 | >99% | 26.5J/平方厘米 |
| TFMHP-25.4C05-1064 | 1064 纳米 | φ25.4mm | 5毫米 | >99% | 28焦耳/平方厘米 |
| TFMHP-30C05-1064 | 1064 纳米 | φ30mm | 5毫米 | >99% | 28焦耳/平方厘米 |
| TFMHP-50C08-1064 | 1064 纳米 | φ50mm | 8毫米 | >99% | 28焦耳/平方厘米 |
| TFMHPQ-12.7C03-257 | 257nm | φ12.7mm | 3 毫米 | >98% | 4焦耳/平方厘米 |
| TFMHPQ-25C05-257 | 257nm | φ25mm | 5毫米 | >98% | 4焦耳/平方厘米 |
| TFMHPQ-25.4C05-257 | 257nm | φ25.4mm | 5毫米 | >98% | 4焦耳/平方厘米 |
| TFMHPQ-30C05-257 | 257nm | φ30mm | 5毫米 | >98% | 4焦耳/平方厘米 |
| TFMHPQ-50C08-257 | 257nm | φ50mm | 8毫米 | >98% | 4焦耳/平方厘米 |
| TFMHPQ-50.8C08-257 | 257nm | φ50.8mm | 8毫米 | >98% | 4焦耳/平方厘米 |
| TFMHPQ-12.7C03-343 | 343 纳米 | φ12.7mm | 3 毫米 | >99% | 8焦耳/平方厘米 |
| TFMHPQ-25C05-343 | 343 纳米 | φ25mm | 5毫米 | >99% | 8焦耳/平方厘米 |
| TFMHPQ-25.4C05-343 | 343 纳米 | φ25.4mm | 5毫米 | >99% | 8焦耳/平方厘米 |
| TFMHPQ-30C05-343 | 343 纳米 | φ30mm | 5毫米 | >99% | 8焦耳/平方厘米 |
| TFMHPQ-50C08-343 | 343 纳米 | φ50mm | 8毫米 | >99% | 8焦耳/平方厘米 |
| TFMHPQ-50.8C08-343 | 343 纳米 | φ50.8mm | 8毫米 | >99% | 8焦耳/平方厘米 |
| TFMHPQ-12.7C03-515 | 515nm | φ12.7mm | 3 毫米 | >99% | 26焦耳/平方厘米 |
| TFMHPQ-25C05-515 | 515nm | φ25mm | 5毫米 | >99% | 26焦耳/平方厘米 |
| TFMHPQ-25.4C05-515 | 515nm | φ25.4mm | 5毫米 | >99% | 26焦耳/平方厘米 |
| TFMHPQ-30C05-515 | 515nm | φ30mm | 5毫米 | >99% | 26焦耳/平方厘米 |
| TFMHPQ-50C08-515 | 515nm | φ50mm | 8毫米 | >99% | 26焦耳/平方厘米 |
| TFMHPQ-50.8C08-515 | 515nm | φ50.8mm | 8毫米 | >99% | 26焦耳/平方厘米 |
| TFMHPQ-12.7C03-1030 | 1030 纳米 | φ12.7mm | 3 毫米 | >99% | 28焦耳/平方厘米 |
| TFMHPQ-25C05-1030 | 1030 纳米 | φ25mm | 5毫米 | >99% | 28焦耳/平方厘米 |
| TFMHPQ-25.4C05-1030 | 1030 纳米 | φ25.4mm | 5毫米 | >99% | 28焦耳/平方厘米 |
| TFMHPQ-30C05-1030 | 1030 纳米 | φ30mm | 5毫米 | >99% | 28焦耳/平方厘米 |
| TFMHPQ-50C08-1030 | 1030 纳米 | φ50mm | 8毫米 | >99% | 28焦耳/平方厘米 |
| TFMHPQ-50.8C08-1030 | 1030 纳米 | φ50.8mm | 8毫米 | >99% | 28焦耳/平方厘米 |
*入射角 0°，激光脉冲宽度 10ns（TFMHP-193 为 20ns），重复频率 20Hz
