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双联定量齿轮泵
HGP-22A
HGP-22A-F22R
HGP-22A-F33R
HGP-22A-F44R
HGP-22A-F55R
HGP-22A-F66R
HGP-22A-F88R
HGP-22A-F99R
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HGP-33A
HGP-33A-F44R
HGP-33A-F66R
HGP-33A-F88R
HGP-33A-F282
HGP-33A-F1111R
HGP-33A-F1313R
HGP-33A-F1414R
HGP-33A-F1717R
HGP-33A-F1919R
HGP-33A-F2323R
HGP-33A-F2525R
HGP-33A-F2828R
HGP-33A-F3030R
AMC对当前的IC生产其潜在的污染比粒子污染要广泛多，粒子污染控制只要确定粒径及个数，但对AMC控制而言，除了受芯片线宽的缩小而变化外，并受工艺、工艺设备、工艺材料及园片传送系统等的影响，更有甚者用于某一工序的各种工艺材料(化学品、特种气体等)在很多情况下其微量的分子对下一工序往往可能是污染物，而园片加工工序当前已多于3多个独立工序，对AMC控制指标的确定更是复杂。IC生产对AMC的控制，对不同的产品、不同的工艺、不同的工序及不同的工艺材料会有不同的要求，对各种污染物质的要求当前的说法是控制在亚pptm～1pptm间。
