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双联定量齿轮泵
HGP-22A
HGP-22A-F22R
HGP-22A-F33R
HGP-22A-F44R
HGP-22A-F55R
HGP-22A-F66R
HGP-22A-F88R
HGP-22A-F99R
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HGP-33A-F66R
HGP-33A-F88R
HGP-33A-F282
HGP-33A-F1111R
HGP-33A-F1313R
HGP-33A-F1414R
HGP-33A-F1717R
HGP-33A-F1919R
HGP-33A-F2323R
HGP-33A-F2525R
HGP-33A-F2828R
HGP-33A-F3030R
洁净室的气流速度/换气次数,一直是洁净室设计中受到关注的问题,随着洁净室污染源的控制效果增加及末级过滤器效率的提高等,对有关规范、导则等提出的或参考值是否偏于保守,已有不少讨论;FFU在应用中人们担心的噪音、损坏维修等问题已在实践中得到解决,随着FFU的不断改进,对是否采用FFU回风系统也是个热点:悬浮分子污染(AMC)的控制在微电子及IC工业中已日益提到日程上来,受到关注。以下对这些问题的情况分别作归纳和分析。