简单介绍：
北崎热销SATOVAC 佐藤真空
详情介绍：
这是一种管式高温热CVD装置，适用于大学和研究机构开发石墨烯等烃类化合物的各种材料。 它已经小型化，因此可以通过简单的操作制造小批量和小型试件，同时实现了显着的成本降低。
此外，它还配备了5~100Pa的压力控制功能，这是小尺寸难以实现的，因此可以支持更广泛的加工模式。 对于Sarako碳氢化合物系统的易燃气体，我们配备了**装置，例如通过警报检测和大气排放气体稀释装置关闭设备。
| 炉芯管 | 透明石英管（加热温度100~1000°C） |
|---|---|
| 氧化铝管（加热温度1000~1400°C） | |
| 反应气体供应 | 2~60sccm（氢气、甲烷、乙烷、工业苯乙烯、乙炔、苯等） |
| 压力控制 | 5~100Pa |
| 防止易燃气体排放到大气中的措施 | 通过喷射器用低于易燃混合范围的空气稀释的废气 |
| 型 | SFCV-1001 | SFCV-1003 | SFCV-1501 | ||
|---|---|---|---|---|---|
| 管式炉 | 炉芯管 | 材料 | 透明石英管 | 氧化铝管 | |
| 钻 | φ24毫米、φ50毫米 | φ24毫米 | |||
| 加热温度 | 惯性使用 | 100~1000°C | 500~1400°C | ||
| 麦克斯 | 1150°C | 1500°C | |||
| 加热面积 | 1 个区域 | 3 个区域 | 1 个区域 | ||
| 加热器容量 | 1.0千瓦 | 2.4千瓦 | 1.2千瓦 | ||
| 真空抽真空 | 油旋转真空泵 | 抽速：100~150升/分 | |||
| 供气 | 质量流量控制器 | 流量：10~100sccm | |||
| 气管流量计 | |||||
| 气体稀释 | 空气喷射器 | 风量：15N升/分钟 | |||
| 真空计 | 压力控制 | 电容压力计：0.133~1330Pa，100Pa~133kPa | |||
| 大气减压 | 数字耦合：-100kPa~+100kPa | ||||
| 控制 | 温度控制 | 程序控制 | |||
| 压力控制 | 阀门开/关控制 | ||||
| 操作面板 | 设备开关、程序温度控制器、真空计 显示：温度、真空度、操作设备开/关、报警、电源 | ||||
| 权力 | 单相的 | 100V・30A | 100V・50A | 200V・20A | |
| 外部尺寸 | 宽×深×高 | 1450×500×1200毫米 | |||
| 质量 | 125公斤 | 134公斤 | 128公斤 | ||
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