POWER ECO系列节能低温泵
POWER ECO系列低温泵是从节能的角度出发，以减少功耗和冷却水量为目的而开发的高性能、节能型低温泵。
【重要的】
出口、转让和废弃注意事项
低温泵 P-226C（直径 22 英寸）根据外汇和外贸法的规定属于需要出口许可的货物类别。向日本国外出口时，需要根据外汇及外贸法进行判断，因此请联系我们的营业部门。另外，在国内搬迁或废弃时，请注意目的地。
特征:
有效节省能源和资源
电力消耗和冷却水量：可减少15%至70%
播放/启动时间缩短
与传统方法相比不到一半（与我们公司相比）
提高排气性能
实际氩气排气能力大幅提高1.5～4倍（与本公司相比）
半导体制造设备（溅射设备、离子注入设备）
电子元件制造设备
真空沉积设备
真空炉、空间室
加速器
各种高真空设备
| 泵型号名称 | P-085C | P-086C | P-086CL | P-087C | P-106C | P-106CL | P-126C | P-126CL | P-127C | 评论 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 口径 | 8寸 | 8寸 | 8寸 | 8寸 | 10英寸 | 10英寸 | 12寸 | 12寸 | 12寸 | ||
| 形状 | 垂直的 | 垂直的 | 水平的 | 垂直的 | 垂直的 | 水平的 | 垂直的 | 水平的 | 垂直的 | ||
| 抽速 （L/S） | 氮 | 1,500 人 | 1,500 人 | 1,500 人 | 1,500 人 | 2,400 | 2,400 | 4,000 | 4,000 | 4,000 | |
| 氩气 | 1,300 | 1,300 | 1,300 | 1,300 | 2,000 | 2,000 | 3,200 | 3,200 | 3,200 | ||
| 氢 | 1,000 | 2,500 人 | 2,200 | 1,000 | 3,800 | 3,700 | 6,000 | 6,000 | 3,000 | ||
| 水 | 4,000 | 4,000 | 4,000 | 4,000 | 6,400 | 6,400 | 9,000 | 9,000 | 9,000 | ||
| *排气流量（Pa･m 3 /s） | 1.2 | 1.2 | 1.1 | 1.2 | 1.0 | 1.0 | 0.8 | 0.8 | 0.8 | ||
| *气体瞬时容许量（Pa･m3） | .0 | .0 | 18.0 | ||||||||
| 启动时间（分钟） | 60 | 65 | 80 | 60 | 85 | 100 | 95 | 105 | 70 | *1 | |
| 再生（加热）时间（分钟） | 40 | 40 | 45 | 40 | 45 | 50 | 45 | 50 | 40 | *1 | |
| 启动播放时间（分钟） | 100＋α | 105+α | 125+α | 100＋α | 130＋α | 150＋α | 140＋α | 155+α | 110+α | *1 | |
| 排气能力（Pa· m3） | 氩气 | 80,000 | 80,000 | 80,000 | 150,000 | 160,000 | 140,000 | 260,000 | 20万 | 40万 | *2 |
| 氢 | 1,300 | 1,800 | 1,600 | 1,300 | 2,000 | 1,800 | 2,400 | 2,200 | 1,600 | ||
| 达到温度(K) | 15 或更少 | ||||||||||
| 极限压力（Pa） | 10 -7单位 | ||||||||||
| *加热温度(℃) | 70 | ||||||||||
| 环境温度范围（℃） | 10～35 | ||||||||||
| 建议维护时间（h） | 每 16,000 或更少 | ||||||||||
| 质量（公斤） | 22 | 22 | 22 | 23 | 24 | 二十五 | 29 | 30 | 29 | ||
| 可营运车辆数量（辆） | P-421CA | 3* | 3* | 3* | 3* | 2* | 2* | 2* | 2* | 2* | *3、*4 |
| P-875CA | 五 | 五 | 五 | 五 | 四 | 四 | 四 | 四 | 四 | *3 | |
| 泵型号名称 | P-128C | P-128CL | P-160C | P-161C | P-161CL | P-166C | P-201C | P-206C | P-226C | 评论 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 口径 | 12寸 | 12寸 | 16英寸 | 16英寸 | 16英寸 | 16英寸 | 20英寸 | 20英寸 | 22英寸 | ||
| 形状 | 垂直的 | 水平的 | 垂直的 | 垂直的 | 水平的 | 垂直的 | 垂直的 | 垂直的 | 垂直的 | ||
| 抽速 （L/S） | 氮 | 4,000 | 4,000 | 8,000 | 8,000 | 7,400 | 8,000 | 13,000 | 13,000 | 17,000 | |
| 氩气 | 3,200 | 3,200 | 5,500 人 | 5,500 人 | 5,000 | 5,500 人 | 9,000 | 9,000 | 11,000 | ||
| 氢 | 6,000 | 5,000 | 5,500 人 | 11,000 | 10,000 | 11,000 | 17,000 | 17,000 | 23,000 | ||
| 水 | 9,000 | 9,000 | 17,000 | 17,000 | 17,000 | 17,000 | 28,000 | 28,000 | 39,000 | ||
| *排气流量（Pa･m 3 /s） | 2.2 | 2.2 | 2.2 | 2.0 | 2.2 | 3.5 | 1.3 | 3.0 | 2.7 | ||
| *气体瞬时容许量（Pa･m3） | 40 | 40 | 50 | 50 | 50 | 50 | 80 | 80 | 133 | ||
| 启动时间（分钟） | 110 | 115 | 70 | 90 | 120 | 80 | 150 | 100 | 120 | *1 | |
| 再生（加热）时间（分钟） | 70 | 70 | 40 | 60 | 60 | 60 | 70 | 80 | 80 | *1 | |
| 启动播放时间（分钟） | 180＋α | 185+α | 110+α | 150＋α | 180＋α | 140＋α | 220＋α | 180＋α | 200＋α | *1 | |
| 排气能力（Pa· m3） | 氩气 | 270,000 | 20万 | 40万 | 40万 | 20万 | 40万 | 80万 | 80万 | 1,000,000 | *2 |
| 氢 | 4,000 | 3,500 人 | 1,600 | 3,400 | 3,000 | 3,400 | 4,500 | 7,500 | 7,500 | ||
| 达到温度(K) | 15 或更少 | ||||||||||
| 极限压力（Pa） | 10 -7单位 | ||||||||||
| *加热温度(℃) | 70 | ||||||||||
| 环境温度范围（℃） | 10～35 | ||||||||||
| 建议维护时间（h） | 每 16,000 或更少 | ||||||||||
| 质量（公斤） | 33 | 34 | 50 | 50 | 65 | 50 | 60 | 60 | 87 | ||
| 可营运车辆数量（辆） | P-421CA | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | ― | 1 | ― | ― | *四 |
| P-875CA | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 1 | 2 | 1 | 1 | *3 | |
