离子泵和惰性泵在磁场中产生冷阴极放电，将电离的气体分子嵌入阴极，并在与阴极碰撞时溅射阴极材料（Ti），产生活性这是一种进行抽真空的高真空泵通过不断地创造吸气剂薄膜。
特征：
完全无油
由于不使用油等有机物质，因此可以获得清洁的真空而不污染系统。
高真空、真空
离子泵和惰性泵的工作压力范围为10 -1 Pa至10 -9 Pa，是产生高真空的理想选择。
无人操作
只需用电，方便夜间无人操作和远程控制。
惰性气体抽气（惰性气体泵）
与双极离子泵相比，惰性气体的抽气速度更高（氩气约为空气的 21%）
完全无油高真空及高真空排气系统
电子显微镜、表面分析装置
粒子加速器、聚变实验装置、空间环境试验装置
电子管等真空保持泵
| 泵 | 姓名 | 20升/秒 离子泵 | 20 L/s 贵族泵 |
|---|---|---|---|
| 型号名称 | 912-7125 | 912-7120 | |
| 抽速 （对于氮气） | 20升/秒 | ||
| 工作范围（注1） | 10 -1至 10 -9 Pa | 1 至10-9帕 | |
| 启动压力（注1） | 1.3Pa以下 | 6.7Pa以下 | |
| 内部容积 | 1.4升 | ||
| *加热温度 | 250℃ | ||
| 进口 | φ70ICF | ||
| 目前介绍终端 | 不可更换 | ||
| 元件（用于更换） | 不可更换 | ||
| 磁铁 | 912-7121（1 件）包含在主机中 | ||
| 大量的 | 10.5公斤 | ||
| 泵 | 姓名 | 30升/秒 离子泵 | 30 L/s 贵族泵 |
|---|---|---|---|
| 型号名称 | 912-7135 | 912-7130 | |
| 抽速 （对于氮气） | 30升/秒 | ||
| 工作范围（注1） | 10 -1至 10 -9 Pa | 1 至10-9帕 | |
| 启动压力（注1） | 1.3Pa以下 | 6.7Pa以下 | |
| 内部容积 | 2.2升 | ||
| *加热温度 | 250℃ | ||
| 进口 | φ114ICF | ||
| 目前介绍终端 | 954-7281 | ||
| 元件（用于更换） | 不可更换 | ||
| 磁铁 | 912-7121（1 件）包含在主机中 | ||
| 大量的 | 12.5公斤 | ||
| 泵 | 姓名 | 60升/秒 离子泵 | 60 L/s 贵族泵 |
|---|---|---|---|
| 型号名称 | 912-7165 | 912-7160 | |
| 抽速 （对于氮气） | 60升/秒 | ||
| 工作范围（注1） | 10 -1至 10 -9 Pa | 1 至10-9帕 | |
| 启动压力（注1） | 1.3Pa以下 | 6.7Pa以下 | |
| 内部容积 | 6.2升 | ||
| *加热温度 | 250℃ | ||
| 进口 | φ152ICF | ||
| 目前介绍终端 | 954-7281 | ||
| 元件（用于更换） | 915-7027（1对） | 915-9527（1对） | |
| 磁铁 | 912-7121（2 件）包含在主机中 | ||
| 大量的 | 25.6公斤 | ||
| 泵 | 姓名 | 110 L/s 贵族泵 | 140升/秒 离子泵 |
|---|---|---|---|
| 型号名称 | 912-7020 | 912-7010 | |
| 抽速 （对于氮气） | 110升/秒 | 140升/秒 | |
| 工作范围（注1） | 1 至10-9帕 | 10 -1至 10 -9 Pa | |
| 启动压力（注1） | 6.7Pa以下 | 1.3Pa以下 | |
| 内部容积 | 18升 | ||
| *加热温度 | 250℃ | ||
| 进口 | φ203ICF | ||
| 目前介绍终端 | 954-7281 | ||
| 元件（用于更换） | 915-9520（1件） | 915-9510（1件） | |
| 磁铁 | 912-7001（1 件）包含在主体中 | ||
| 大量的 | 48公斤 | ||
| 泵 | 姓名 | 220 L/s 贵族泵 | |
|---|---|---|---|
| 型号名称 | 912-7040 | 912-7041 | |
| 抽速 （对于氮气） | 220升/秒 | ||
| 工作范围（注1） | 5×10 -1 ~ 10 -9帕 | ||
| 启动压力（注1） | 3.4Pa以下 | ||
| 内部容积 | 26升 | 28升 | |
| *加热温度 | 250℃ | ||
| 进口 | φ203ICF | ||
| 目前介绍终端 | 954-7281 | ||
| 元件（用于更换） | 915-9510（2件） | ||
| 磁铁 | 912-7002（1 件） 包含在主体中 | 912-7001（2 件） 包含在主体中 | |
| 大量的 | 85公斤 | 90公斤 | |
| 泵 | 姓名 | 220 L/s 贵族泵 | |
|---|---|---|---|
| 型号名称 | 912-7040 | 912-7041 | |
| 抽速 （对于氮气） | 220升/秒 | ||
| 工作范围（注1） | 5×10 -1 ~ 10 -9帕 | ||
| 启动压力（注1） | 3.4Pa以下 | ||
| 内部容积 | 26升 | 28升 | |
| *加热温度 | 250℃ | ||
| 进口 | φ203ICF | ||
| 目前介绍终端 | 954-7281 | ||
| 元件（用于更换） | 915-9510（2件） | ||
| 磁铁 | 912-7002（1 件） 包含在主体中 | 912-7001（2 件） 包含在主体中 | |
| 大量的 | 85公斤 | 90公斤 | |
| 泵 | 姓名 | 400 L/s 贵族泵 | 500升/秒 离子泵 |
|---|---|---|---|
| 型号名称 | 912-7060 | 912-7050 | |
| 抽速 （对于氮气） | 400升/秒 | 500升/秒 | |
| 工作范围（注1） | 1 至10-9帕 | 10 -1至 10 -9 Pa | |
| 启动压力（注1） | 6.7Pa以下 | 1.3Pa以下 | |
| 内部容积 | 38升 | ||
| *加热温度 | 250℃ | ||
| 进口 | φ203ICF | ||
| 目前介绍终端 | 954-7281 | ||
| 元件（用于更换） | 915-9520（4件） | 915-9510（4件） | |
| 磁铁 | 912-7002（2 件）包含在主体中 | ||
| 大量的 | 120公斤 | ||
| 泵 | 姓名 | 800 L/s 贵族泵 | 1000 L/s 离子泵 | ||
|---|---|---|---|---|---|
| 型号名称 | 912-9110 | 912-7190 | 912-9100 | 912-7195 | |
| 抽速 （对于氮气） | 800升/秒 | 1000升/秒 | |||
| 工作范围（注1） | 10 -2至 10 -9 Pa | 10 -3至 10 -9 Pa | |||
| 启动压力（注1） | 1.3×10 -1 Pa以下 | 1.3×10 -2 Pa以下 | |||
| 内部容积 | 106升 | ||||
| *加热温度 | 250℃ | ||||
| 进口 | φ326CS 法兰 | φ356ICF | φ326CS 法兰 | φ356ICF | |
| 目前介绍终端 | 954-7281 | ||||
| 元件（用于更换） | 912-9520（8件） | 915-9510（8件） | |||
| 磁铁 | 912-7003（2 件）包含在主机中 | ||||
| 大量的 | 257公斤 | ||||
| 泵 | 姓名 | 20升/秒 离子泵 | 20 L/s 贵族泵 |
|---|---|---|---|
| 型号名称 | 912-7125 | 912-7120 | |
| 抽速 （对于氮气） | 20升/秒 | ||
| 工作范围（注1） | 10 -1至 10 -9 Pa | 1 至10-9帕 | |
| 启动压力（注1） | 1.3Pa以下 | 6.7Pa以下 | |
| 内部容积 | 1.4升 | ||
| *加热温度 | 250℃ | ||
| 进口 | φ70ICF | ||
| 目前介绍终端 | 不可更换 | ||
| 元件（用于更换） | 不可更换 | ||
| 磁铁 | 912-7121（1 件）包含在主机中 | ||
| 大量的 | 10.5公斤 | ||
