新疆检测高效过滤器检测专门机构--持正检测 2、激光粒子计数器，其工作原理与光散射粒子计数器基本相同，但由于使用了比光散射粒子计数器强100倍的He-Ne激光源，粒子大小的探测范围为0.1M。
内容： 1、测试办法：DOP法；2、测试范围： 1.过滤器的滤材 ；2.滤材与其框架内部的衔接；3.过滤器框架的密封垫和过滤器组支撑框架之间的衔接；4.支撑框架和墙壁或顶棚之间的衔接。 检测资料及仪器： 1.尘源：DOP溶剂；2.仪器：DOP发作器、气溶胶光度计 ；
检测高效过滤器 高效过滤器本体在进入现场前，生产厂家应按规定进行性能试验检测（如DOP试验等），并提供合格证（含性能试验结果）对于5级（100级）以上洁净室用高效过滤器、高效过滤器在现场应再次进行高效过滤器本体的性能检测。同时也要为确认高效过滤器的正确安装状态进行泄漏试验。而在大规模集成电路生产的洁净技术中（如0.1μm，1级），由于新风量往往仅是循环风量的百分之几，经过稀释上风侧也变成6级（1000级）的程度，因此，在这种情况下，就必须重新考虑采用DOP检漏试验。
检漏扫描时，若采用3cm×3cm方形探管，扫描速度不得过5cm/s矩形探管的Z大面积扫描率不得过15cm2/s。在扫描过程中，若显示有等于或大于限值的泄漏时，则应将探管停留在泄漏处。高效空气过滤器的泄漏限值是指过上风向测试气溶胶浓度10-4的泄漏，或与业主协商确定。 02粒子计数器法检漏 采用粒子计数器法进行扫描检漏时，被测试的空气过滤器Z高穿透粒径的穿透率大于或等于0.00005%。不允许采用可能沉积在过滤器或管道上的挥发性油光尘的测试用气溶胶。 在进行粒子计数器检漏前，被测试过滤器应在额定风速的70%至130%之间运行，并确认其送风的均匀性。
二、油雾法:油雾法的测试尘源为油雾，“量”为含油雾空气的浊度，以过滤器前后气样的浊度差别来判断过滤器对油雾颗粒的过滤效率。德国规定使用石蜡油，油雾粒径为0.3~0.5微米。油雾法在检测过滤器时，容易对过滤器造成损伤，且不能直接读值，浪费时间。
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