长期零点稳定性：小于 0.2% 满量程/年
高精度
流量额定值范围广 - 0.003 至 2500 slpm
高压等级 - 高达 1500 psi/100 bar（可选：4500 psi/310 bar）
可配置的多气体/多量程功能
易于访问、独立的诊断和服务端口
多种通信选项，包括 DeviceNet®、EtherCAT、® Profibus® 和 RS-485 以及模拟接口
模块化设计，便于工厂或现场维护
传感器的长期稳定性消除了维护和定期重新校准的需要，从而降低了拥有成本
Brooks Instrument 专有的热传感器技术可提高信噪比，并在低设定点下提高流量精度
在单个设备平台上支持各种气体和流量范围
*多可对 6 种校准进行编程和存储。 一台设备可以在不同类型的气体和范围之间切换，以减少库存
服务端口便于用户访问，不会中断流量控制器的操作，并简化安装、故障排除和诊断
耐用的金属顶盖，可防止在安装过程中损坏
多个协议通信接口简化了与现有系统的集成
基于全球标准的高性能测量和校准，可实现高精度
化工和石化催化剂研究和中试工艺
实验室和分析系统
燃料电池技术
生命科学生物反应
规格
| SLA5850 | SLA5851 | SLA5853 | SLA5860 | SLA5861 | SLA5863 | |
| 产品类型 | 质量流量控制器 | 质量流量控制器 | 质量流量控制器 | 质量流量计 | 质量流量计 | 质量流量计 |
| 差异化优势 | 控制器 流量范围 | 控制器 流量范围 | 控制器 流量范围 | 米 流量范围 | 米 流量范围 | 米 流量范围 |
| 流量范围（满量程容量） | 0.003 - 50 升/分钟 | 15 - 150 升/分钟 | 100 - 2500 升/分钟 | 0.003 - 50 升/分钟 | 15 - 150 升/分钟 | 100 - 2500 升/分钟 |
| *压力 | 1500 磅/平方英寸 / 103 巴 可选 4500 psi / 310 bar | 1500 磅/平方英寸 / 103 巴 | 1000 磅/平方英寸 / 70 巴 | 1500 磅/平方英寸 / 103 巴 可选：4500 psi / 310 bar | 1500 磅/平方英寸 / 103 巴 | 1000 磅/平方英寸 / 70 巴 |
| 精度 | SP的±0.6% | SP的±0.6% | SP的±0.6% 1100 slpm 至 2500 slpm：FS 的 ±0.6% | SP的±0.6% | SP的±0.6% | SP的±0.6% 1100 slpm 至 2500 slpm：FS 的 ±0.6% |
| 再现性 | 0.20% 标准价 | 0.20% 标准价 | 0.20% 标准价 | 0.20% 标准价 | 0.20% 标准价 | 0.20% 标准价 |
| 响应时间 | <1 秒 | <1 秒 | <3 秒 | <1 秒 | <1 秒 | <3 秒 |
| 多气体多量程 | 标准 | 标准 | 标准 | 标准 | 标准 | 标准 |
| 诊断能力 | 状态指示灯 - MFC 运行状况、网络状态 警报 - 传感器输出、控制阀输出、过温、电涌/骤降、网络中断 诊断/服务端口 - RS485 通过 2.5 毫米插孔 | 状态指示灯 - MFC 运行状况、网络状态 警报 - 传感器输出、控制阀输出、过温、电涌/骤降、网络中断 诊断/服务端口 - RS485 通过 2.5 毫米插孔 | 状态指示灯 - MFC 运行状况、网络状态 警报 - 传感器输出、控制阀输出、过温、电涌/骤降、网络中断 诊断/服务端口 - RS485 通过 2.5 毫米插孔 | 状态指示灯 - MFC 运行状况、网络状态 警报 - 传感器输出、控制阀输出、过温、电涌/骤降、网络中断 诊断/服务端口 - RS485 通过 2.5 毫米插孔 | 状态指示灯 - MFC 运行状况、网络状态 警报 - 传感器输出、控制阀输出、过温、电涌/骤降、网络中断 诊断/服务端口 - RS485 通过 2.5 毫米插孔 | 状态指示灯 - MFC 运行状况、网络状态 警报 - 传感器输出、控制阀输出、过温、电涌/骤降、网络中断 诊断/服务端口 - RS485 通过 2.5 毫米插孔 |
| 模拟通信 | 0-5 伏直流、1-5 伏直流、0-10 伏直流、0-20 毫安、4-20 毫安 | 0-5 伏直流、1-5 伏直流、0-10 伏直流、0-20 毫安、4-20 毫安 | 0-5 伏直流、1-5 伏直流、0-10 伏直流、0-20 毫安、4-20 毫安 | 0-5 伏直流、1-5 伏直流、0-10 伏直流、0-20 毫安、4-20 毫安 | 0-5 伏直流、1-5 伏直流、0-10 伏直流、0-20 毫安、4-20 毫安 | 0-5 伏直流、1-5 伏直流、0-10 伏直流、0-20 毫安、4-20 毫安 |
| 数字通信 | 设备网络™ EtherCAT以太网CAT® 以太网/IP™ 基础TM系列 现场总线 Profibus公司® PROFINET系列 RS-485接口 | 设备网络™ EtherCAT以太网CAT® 以太网/IP™ 基础TM系列 现场总线 Profibus公司® PROFINET系列 RS-485接口 | 设备网络™ EtherCAT以太网CAT® 以太网/IP™ 基础TM系列 现场总线 Profibus公司® PROFINET系列 RS-485接口 | 设备网络™ EtherCAT以太网CAT® 以太网/IP™ 基础TM系列 现场总线 Profibus公司® PROFINET系列 RS-485接口 | 设备网络™ EtherCAT以太网CAT® 以太网/IP™ 基础TM系列 现场总线 Profibus公司® PROFINET系列 RS-485接口 | 设备网络™ EtherCAT以太网CAT® 以太网/IP™ 基础TM系列 现场总线 Profibus公司® PROFINET系列 RS-485接口 |
