流量响应时间（稳定时间）0.75秒以下
创新的MEMS传感器和的PID算法
尺寸仅为普通散热 MFC 的一半，紧凑尺寸：1“ x 3” x 4“ （25 mm x 76 mm x 101 mm）
使用可选的本地操作员界面（LOI）简化设置和操作：下载免费的LabVIEW VI进行设备监控和归零
通过 RS-232 提供数字支持
适用于各种非腐蚀性气体
快速响应时间确保快速步骤，即使过程中配方更改也是如此
原始设备制造商的理想选择：紧凑的尺寸，可以轻松集成到狭小的机器空间中，并加快安装速度
可选的本地操作员界面 （LOI） 是用于本地显示、设定点控制和设备配置的交钥匙解决方案。 无需远程二次电子设备。
多种通信选项，满足您的需求
热处理、切割/焊接、热处理
太阳能/薄膜物理气相沉积 （PVD） 系统
用于试剂、校准、测量和控制 Mr./Ms. 气体流量的分析设备
| 4850 | 4860 | |
| 产品类型 | 质量流量控制器
| 质量流量计 |
| 流量范围（满量程容量） | 50 SCCM - 40 SLPM | 50 SCCM - 40 SLPM |
| 精度 | 3.0% 满量程 1.0% F.S. （可选） | 3.0% 满量程 1.0% F.S. （可选） |
| 再现性 | 0.15% 满量程 | 0.15% 满量程 |
| 响应时间 | 常闭阀：300 ms - <1 sec | 常闭阀：300 ms - <1 sec |
| *压力 | 150 psig/10 barg | 150 psig/10 barg |
| 诊断能力 | 状态指示灯：MFC 运行状况、网络状态 报警：传感器输出、控制阀输出、温、电涌/骤降、网络中断 诊断/服务端口：RS485 通过 2.5 毫米插孔 | 状态指示灯：MFC 运行状况、网络状态 报警：传感器输出、控制阀输出、温、电涌/骤降、网络中断 诊断/服务端口：RS485 通过 2.5 毫米插孔 |
| 模拟通信 | 0-5 伏直流电 4-20 毫安 | 0-5 伏直流电 4-20 毫安 |
| 数字通信 | RS232接口 | RS232接口 |
