具有嵌入式实时诊断功能的 EtherCAT® 数据采集
稳定的流量传感器（每年≤设定值的 0.15%）可提高低设定值的精度并减少维护要求
改进了阀门关闭（料仓范围的 ≤0.15%）并减少了阀门泄漏，从而减少了首次晶圆效应
新增强的压力波动容限 （PTI） 可降低串扰灵敏度，并确保一致的质量流量输送
长期零点稳定性，±小于0.15%F.S./年
响应时间：300 ms 至 1 秒以内
满量程流量高达 300 slpm
所有气体接触部件均为金属：* 0.125 μm 或 0.25 μm Ra 表面光洁度可选
高度耐腐蚀的哈氏合金 T-Rise 传感器可提高高温下的温度可重复性
MultiFloTM 气体，范围可变性：可以在一个设备中配置数千种不同的气体和流速，而无需从气体管路中移除 MFC，也不会影响精度
易于使用的用户显示屏和独立的诊断/服务端口有助于设备安装、监控和故障排除
GF120 安全输送系统 （SDS®） 是 Brooks 技术*的低压降质量流量控制器，用于植入和蚀刻工艺中使用的亚大气压 SDS 气体输送。
非常好的性能
由于反应时间短，提高了应用效率
灵活的连接配置
几乎无限的网络连接
简单而坚固
配置、诊断和维护
可负担性
标准以太网端口
半导体蚀刻设备
CVD、MOCVD、PECVD、ALD设备
PVD设备
外延制程设备
| GF100 | GF101 | GF120 | GF120 | GF120XSD | GF120XSL | GF121 | GF125 | GF126 | |
| 差异化优势 | 高纯度 | 高纯度 高流速 | 高纯度 快响应时间 | *流量范围 久经考验的可靠技术 | SDS气体输送 | SDS气体输送 | 高纯度 高流速 | 高纯度 快响应 压力瞬态不敏感 | 高流速 |
| 流量范围（满量程容量） | 3 SCCM - 55 SLM | 55 SLM - 300 SLM | 3 SCCM - 55 SLM | 3 SCCM - 55 SLM | >25 SCCM - 1 SLM | 4 - 25 SCCM | 55 SLM - 300 SLM | 3 SCCM - 55 SLM | 55 SLM - 300 SLM |
| 表面光洁度 | 10μ 英寸 Ra | 10μ 英寸 Ra | 5μ 英寸 Ra | 4μ 英寸 Ra | 5μ 英寸 Ra | 5μ 英寸 Ra | 5μ 英寸 Ra | 5μ 英寸 Ra | 5μ 英寸 Ra |
| 精度 | ±1% 标准> 20-* ±0.20% F.S. 2-20% | ±1% 标准价 > 35-* ±0.35% F.S. 2-35% | ±1% 标准> 20-* ±0.20% F.S. 2-20% | ±1% 标准价 > 35-* ±0.35% F.S. 2-35% | ±1% 标准价 > 35-* ±0.35% F.S. 2-35% | ±1% 标准价 > 35-* ±0.35% F.S. 2-35% | ±1% 标准价 > 35-* ±0.35% F.S. 2-35% | ±1% 标准> 20-* ±0.20% F.S. 2-20% | ±1% 标准价 > 35-* ±0.35% F.S. 2-35% |
| 再现性 | < ±0.15% 标准股 | < ±0.15% 标准股 | < ±0.15% 标准股 | < ±0.15% 标准股 | < ±0.15% 标准股 | < ±0.15% 标准股 | < ±0.15% 标准股 | < ±0.15% 标准股 | < ±0.15% 标准股 |
| 响应时间 | 常闭 <1 秒 | 常闭 <1 秒 | 常闭 700 毫秒 | 常闭 700 毫秒 | 常闭 <3 秒 | 常闭 <3 秒 | 常闭 <1 秒 | 常闭 300 毫秒 - <700 毫秒
| 常闭 <1 秒
|
| 响应时间 - 否 | 常开 <1.5 秒 | 常开 — | 常开 <1.5 秒 | 常开 <1.5 秒 | 常开 — | 常开 — | 常开 — | 常开 <1.5 秒 | 常开 — |
| 多气体多量程 | MultiFlo™ 标准版 | MultiFlo™ 标准版 | MultiFlo™ 标准版 | MultiFlo™ 标准版 | — | — | MultiFlo™ 标准版 | MultiFlo™ 标准版 | MultiFlo™ 标准版 |
| 供气压力波动容限/背压波动容限（稳定） | — | — | — | — | — | — | — | ±5% S.P. 高达 5 psi/sec 上游压力机。 穗 | 能够测量入口压力 |
| 诊断能力 | 状态指示灯和警报 | 状态指示灯和警报 | 状态指示灯和警报 | 状态指示灯：MFC 运行状况和网络状态 警报：控制阀输出和网络中断 | 状态指示灯和警报 | 状态指示灯和警报 | 状态指示灯和警报 | 状态指示灯和警报 | 状态指示灯和警报 |
| 数字通信 | EtherCAT以太网CAT | EtherCAT以太网CAT | EtherCAT以太网CAT | RS485 L协议 设备网络™
| EtherCAT以太网CAT | EtherCAT以太网CAT | EtherCAT以太网CAT | EtherCAT以太网CAT | EtherCAT以太网CAT |
