什么是干泵

干泵是不使用油或其他液体产生真空的各种真空泵的称。

干泵是与湿泵形成对比的名称，湿泵使用油等来产生真空。有罗茨式干泵、涡旋式干泵、爪式干泵、隔膜式干泵等几种不同机理的类型。

此外，与旋转泵不同，它不会排放油雾，因此适合在清洁环境中使用。

干泵使用
干泵主要应用于半导体生产线、食品加工线以及电子显微镜等各种科学分析设备。在这些应用中，必须避免使用环境的污染。干泵*的特点是废气中不会有油雾的污染，因此干泵适合需要清洁环境的应用。

但干泵的极限真空度约为1Pa，并不算高。当需要高真空时，与涡轮分子泵或离子泵组合使用。另外，不同类型的抽速也不同，因此需要根据用途选择合适的类型。

干泵原理
干泵有多种类型，但许多都属于气体输送类型。所有气体输送泵均具有用于吸入气体的进气口和用于排出气体的排气口，通过将从进气口吸入的气体排出并从排气口排出，从而排出泵内的气体。

它是一种通过输送各种气体来减少空间中的气体量并产生真空的机制。与干泵相比，湿泵在输送气体时使用液压油或液压油来完全密封真空泵的内部。

除密封外，液压油还具有减少零件之间的磨损和摩擦、吸收气体压缩时产生的压缩热以及防止泵零件生锈的作用。

干泵的类型
干泵输送气体有多种结构。干泵的主要类型是容积式，其中旋转式是*的类型。

1.叶片泵
叶片泵是一种装有多个叶片（称为叶片）的气缸在圆形空间内旋转，使叶片抽出空间内的空气的泵。叶片中产生的离心力使叶片的*与圆形空间的壁接触，形成密封空间。

2. 爪式泵
爪式泵有两个并排布置的称为爪的爪形转子，爪在相反方向旋转的同时排出气体。气体被压缩并排出泵外。

3.多级罗茨泵
多级罗茨泵也是一种利用一对反向旋转的转子将吸入的气体排出到泵外部的泵。转子具有横截面为茧形的叶片。

4、涡旋泵
涡旋泵是通过在具有相同螺旋壁的固定涡旋件内旋转绕动涡旋件来输送气体的泵。

5.螺杆泵
螺杆泵是由一到三个螺杆和容纳螺杆的外壳组成的泵。当螺杆旋转时，气体被推过外壳并排出。

 

除上述旋转式外，还有往复式容积式干泵。往复运动的部件包括隔膜、活塞和波纹管。

干泵特点
干泵在气体通过的路径中没有液压油。无需担心油雾进入废气或油蒸发扩散到真空容器中。干泵的一个主要特点是它们提供清洁的排气和真空空间。

另一大优点是无需定期补油或更换等维护。干泵还具有体积小、重量轻、振动小、噪音低等特点。