日本进口KASHIYAMA柏山SDX600干式真空泵

日本进口KASHIYAMA柏山SDX600干式真空泵

日本进口KASHIYAMA柏山SDX600干式真空泵

SD 系列的特点
过程耐性的继承与进化
，进一步的实现低电力化
世界上*小的足迹
SEMI/CE/NRTL对应各规格
新的新建外观设计传承工艺公差，追求进化坚固(过程耐性)

除了独创形状的螺杆外，新的加热器系统进一步强化了工艺耐性，特殊材料的高耐腐蚀性和丰富的温度变化，实现了广泛的工艺响应
小型(小型化)
安全性(安全性)

型号*1		SDX600型	SDT600 系列	SDX1200	SDT1200	SDX1800	SDT1800	SDH3000*5	SDH6000*5
*抽速 [L/min]*2 *6		10,000		18,000	19,000	30,000		50,000	100,000
极限压力 [Pa] *2		0.5				0.3			0.5
电源电压 （50/60Hz）		三相 AC200~220V*7
N2流速 [SLM]		0~80						0~120
冷却水流量 [L/min]		3.0	4.0	3.0	4.0	3.0	4.0	4.0	4.0
功耗[kW]*3		1.5	3.0	1.65	3.15	2.1	3.3	3.3	3.7
外形尺寸 [mm]*4	L	695		695		850		910	1050
	W	285		285		380		420	515
	H	850		850		950		900	950

*1） SDX 节能和 Hirsch 工艺兼容机器、SDT 和 SDH 耐加工和 Super Hirsch 兼容机器 *2） 不使用加热器和 N2 吹扫时的值
*3） 达到运行时的大约功耗。 *4） 包装尺寸。 有关详细尺寸，请索取外部图纸。
*5） 我们拥有具有*耐加工性的产品系列，因此请联系我们的销售人员。 *6） *抽速为近似值。
*7） 对于本电源以外的要求，请单独与我们联系。 * 请联系我们了解兼容的气体类型。