原装进口EBARA 荏原 CMP设备 F-REX300XA

发布时间:2025-03-13

原装进口EBARA 荏原 CMP设备 F-REX300XA 

原装进口EBARA 荏原 CMP设备 F-REX300XA 


原装进口EBARA 荏原 CMP设备 F-REX300XA

型号 F-REX300XA

进一步提高生产效率,高性能和灵活的CMP设备

干进/干出
*的工艺性能
高吞吐量
多级化学清洗
抛光终点检测监视器(可选)
在线膜厚测量仪(可选)
模块化结构,易于修改和维护
灵活的运输机制
高可靠性结构(1 工作台、1 头、双模块)
兼容 SEMI-S2/CE 标志

产品介绍

配备新开发的高效输送机构和 WPH 优化算法。 凭借 1 张桌子、1 个头和双模块系统,Ebara 在保留高可靠性结构的同时进一步提高了生产率。 采用灵活的运输机制和进一步的交叉污染对策,有助于提高产量。 此外,它具有易于修改和升级的模块化结构,因此可以在将来扩展功能时在短时间内引入新功能。
此外,与 F-REX300X 型号相比,功耗降低了约 10%,并且减少了零件数量,从而减少了供应链中的 CO2 排放量。 它支持更环保的半导体制造。

北崎8年,日本会社20年,专注领域如下:
仪器相关:
山高SANKO(代理)、东机产业TOKI(代理)、索尼克SONIC(代理)、东日技研DIT(代理)、杉山电机SUGIYAMA(代理)、爱安德AND(厂家合作)、饭岛电子IIJIMA、东丽TORAY、共和KYOWA、爱安德AND、豪雅HOYA(代理)
备件设备相关:
柴田SIBATA(代理)、 壶坂TSUBOSAKA(代理)、雅马拓YAMATO、新光NEWKON(代理)、武藏MUSASHI(代理)、尼得科NIDEC(代理)、MRM(代理)、坂口电热SAKAGUCHI(代理)、冈崎OKAZAKI、椿本TUSBAKI(厂家合作)、山本镀金YAMAMOTO、驰卡沙TSUKASA、朝日分光ASAHI、东机理化EYELA、科库森KOKUSAN
光源相关:
岩崎EYE(代理)、日森SEN(代理)、晰写速CCS(代理)、莱宝克斯REVOX(代理)、索莱克SERIC(代理)、普拉瑞POLARION、船越龙FUNATECH、牛尾USHIO、艾泰克ATIEC、山田YAMADA、拓普康TOPCON、欧阿希ORC、赛纳SENA、英富丽INFLIDGE
电气控制:
SIEMENS西门子(厂家合作)、MITSUBISHI三菱,OMRON欧姆龙(厂家合作)、基恩士KEYENCE(厂家合作)

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