原装进口EBARA 荏原 TND 湿式废气处理器
原装进口EBARA 荏原 TND 湿式废气处理器
TND 型是一种燃烧式废气处理系统，采用的燃烧方法，实现低 NOx 和低 CO 排放。 通过各种腐蚀和副产品对策，实现了比传统产品多 3 倍以上的维护间隔，并且采用耗电量少的低运行成本方法，可以以较低的成本使用。 产品阵容包括 TND-Single 型燃烧型 + 净水机和 TND-Single Plus 型预清洗 + 燃烧型 + 净水机。 即使在具有许多副产品的工艺中，也能实现低运行成本和高效加工。
TND
低 NOx 和丰富的反应副产物对策，燃烧式废气处理系统，降低维护成本
燃烧废气处理系统
低 NOx、低 CO 排放
多种气体的批处理
PFC 气体的高效处理
副产品对策和粉末自动卸料功能
湿-燃烧-湿型号可选
长期维护间隔
运行成本低
产品介绍
规范
北崎8年，日本会社20年，专注领域如下：
型
单位
TND-单 A1-A4/ TND-单 P1~P4
TND-单加-A1~A4/P1~P4
加工方法
燃烧 + 湿式
湿式 + 燃烧式 + 湿式
*进气量
升/分钟
200 （每个端口）
200 （每个端口）
400 （每单位）
400 （每单位）
燃料
城市燃气/丙烷气选择
城市燃气/丙烷气选择
大小
宽 x 深 x 高 mm
1,200 x 650 x 1,980
1,200 x 650 x 1,980
可处理气体示例
工艺（仓库）气体
SiH4、PH3、GeH4、AsH3、NH3、SiH2Cl2、B2H6、H2、PH3、Si3H8 等。
一般
清洗气体 NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2 等。
一般
蚀刻气体 HBr、Cl2、SiCl4、BCl3、CO、C5F8、C4F6 等。
工艺（库）气体
WF6、TiCl4、SiH4、PH3、GeH4、NH3、SiH2Cl2、TEOS、B2H6、H2 等
一般
清洁气体 NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2 等 一般
蚀
刻气体 HBr、Cl2PFC
如
SiCl4、BCl3、CO、C5F8、C4F6、CF4、C2F6、C3F8、CHF3、SF6 等。
标准设备
用于除粉的水清洁机制
前级粉末收集机构
除粉 vernas 刮刀
除粉 vernas 刮刀
选择
市政水和废水消耗减少装置
市政水和废水消耗减少装置
粉体减排风机洗涤器
粉体减排风机洗涤器
仪器相关：
山高SANKO（代理）、东机产业TOKI（代理）、索尼克SONIC（代理）、东日技研DIT（代理）、杉山电机SUGIYAMA（代理）、爱安德AND(厂家合作）、饭岛电子IIJIMA、东丽TORAY、共和KYOWA、爱安德AND、豪雅HOYA（代理）
备件设备相关：
柴田SIBATA(代理）、 壶坂TSUBOSAKA（代理）、雅马拓YAMATO、新光NEWKON（代理）、武藏MUSASHI（代理）、尼得科NIDEC（代理）、MRM(代理）、坂口电热SAKAGUCHI（代理）、冈崎OKAZAKI、椿本TUSBAKI（厂家合作）、山本镀金YAMAMOTO、驰卡沙TSUKASA、朝日分光ASAHI、东机理化EYELA、科库森KOKUSAN
光源相关：
岩崎EYE（代理）、日森SEN（代理）、晰写速CCS（代理）、莱宝克斯REVOX（代理）、索莱克SERIC(代理）、普拉瑞POLARION、船越龙FUNATECH、牛尾USHIO、艾泰克ATIEC、山田YAMADA、拓普康TOPCON、欧阿希ORC、赛纳SENA、英富丽INFLIDGE
电气控制：
SIEMENS西门子（厂家合作）、MITSUBISHI三菱，OMRON欧姆龙（厂家合作）、基恩士KEYENCE（厂家合作）
