北崎供应EBARA 荏原 TND 湿式废气处理器
北崎供应EBARA 荏原 TND 湿式废气处理器
TND 型是一种燃烧式废气处理系统，采用的燃烧方法，实现低 NOx 和低 CO 排放。 通过各种腐蚀和副产品对策，实现了比传统产品多 3 倍以上的维护间隔，并且采用耗电量少的低运行成本方法，可以以较低的成本使用。 产品阵容包括 TND-Single 型燃烧型 + 净水机和 TND-Single Plus 型预清洗 + 燃烧型 + 净水机。 即使在具有许多副产品的工艺中，也能实现低运行成本和高效加工。
| 型 | 单位 | TND-单 A1-A4/ TND-单 P1~P4 | TND-单加-A1~A4/P1~P4 |
| 加工方法 | 燃烧 + 湿式 | 湿式 + 燃烧式 + 湿式 | |
| *进气量 | 升/分钟 | 200 （每个端口） | 200 （每个端口） |
| 400 （每单位） | 400 （每单位） | ||
| 燃料 | 城市燃气/丙烷气选择 | 城市燃气/丙烷气选择 | |
| 大小 | 宽 x 深 x 高 mm | 1,200 x 650 x 1,980 | 1,200 x 650 x 1,980 |
| 可处理气体示例 |
工艺（仓库）气体 SiH4、PH3、GeH4、AsH3、NH3、SiH2Cl2、B2H6、H2、PH3、Si3H8 等。 一般 清洗气体 NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2 等。 一般 蚀刻气体 HBr、Cl2、SiCl4、BCl3、CO、C5F8、C4F6 等。 |
工艺（库）气体 WF6、TiCl4、SiH4、PH3、GeH4、NH3、SiH2Cl2、TEOS、B2H6、H2 等 一般 清洁气体 NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2 等 一般 蚀 刻气体 HBr、Cl2PFC 如 SiCl4、BCl3、CO、C5F8、C4F6、CF4、C2F6、C3F8、CHF3、SF6 等。 |
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| 标准设备 | 用于除粉的水清洁机制 | 前级粉末收集机构 | |
| 除粉 vernas 刮刀 | 除粉 vernas 刮刀 | ||
| 选择 | 市政水和废水消耗减少装置 | 市政水和废水消耗减少装置 | |
| 粉体减排风机洗涤器 | 粉体减排风机洗涤器 | ||
