进口供应ENTEGRIS恩特格里斯 Wafergard® 1.5 W-Seal 迷你集成气体过滤器

进口供应ENTEGRIS恩特格里斯 Wafergard® 1.5“ W-Seal 迷你集成气体过滤器

进口供应ENTEGRIS恩特格里斯 Wafergard® 1.5“ W-Seal 迷你集成气体过滤器

Wafergard® SL 1.5“ W 型密封集成气体过滤器
Wafergard® 1.5“ W-Seal 迷你集成气体过滤器是业界*别的集成气体过滤器。
过滤/保护回流气体
确保辅助设备的清洁度
可选择镍或不锈钢膜
优异的耐腐蚀性
应用Wafergard® SL 1.5“ W-Seal 集成气体过滤器应用高纯度气体管线
高温应用
压力波动的应用
用于惰性气体、氢化物气体和 CO 气体的不锈钢过滤器，以及用于惰性和高反应性气体的镍过滤器
产品规格
材料： 滤波器 316L 不锈钢或镍 
  外壳
底座块
端盖 低硫 316L 不锈钢 
粒子捕获速率： 镍过滤器 大于 0.003 μm 的颗粒，99.9999999% 或更高（60L/min@20°C，101 kPa） 
  不锈钢过滤器 大于 0.003 μm（5 L/min@20°C，101 kPa）的颗粒≥99.9999999% 大于 0.003 μm（30 L/min@20°C，101 k≥
Pa）的颗粒 
颗粒清洁度：   0.01 μm 或更大的颗粒为 0.03 pcs/L 或更低 
使用条款： *工作压力 0.97 MPa 
  *允许正压差/反向压差 0.97 MPa 
  *工作温度 400°C （惰性气体） 
内表面粗糙度：   Ra < 0.17 μm 
He 泄漏箱：   < 1 x 10-10 帕米3/秒