库号：D377516
主机 300mm×360mm×380mm（W×D×H）
真空规 皮拉尼真空计
靶（上部电极）尺寸 Φ50mm×0.1mm（D×H），Au（标配）
样品室尺寸 160mm×120mm（D×H），硼硅酸盐玻璃
溅射面积 Φ50mm
高真空度 ≤4×10-2mbar
大电流 50mA
定时器时间 0-360s
微型真空气阀 可连接φ3mm软管
可通入气体 多种
高电压 -1600DCV
电源 220V AC,50Hz接地三脚插头
机械泵 2L/S
重量 ~20Kg
V
主机 300mm×360mm×380mm（W×D×H）
真空规 皮拉尼真空计
靶（上部电极）尺寸 Φ50mm×0.1mm（D×H），Au（标配）
样品室尺寸 160mm×120mm（D×H），硼硅酸盐玻璃
溅射面积 Φ50mm
高真空度 ≤4×10-2mbar
大电流 50mA
定时器时间 0-360s
微型真空气阀 可连接φ3mm软管
可通入气体 多种
高电压 -1600DCV
电源 220V AC,50Hz接地三脚插头
机械泵 2L/S
重量 ~20Kg
主机 300mm×360mm×380mm（W×D×H）
真空规 皮拉尼真空计
靶（上部电极）尺寸 Φ50mm×0.1mm（D×H），Au（标配）
样品室尺寸 160mm×120mm（D×H），硼硅酸盐玻璃
溅射面积 Φ50mm
高真空度 ≤4×10-2mbar
大电流 50mA
定时器时间 0-360s
微型真空气阀 可连接φ3mm软管
可通入气体 多种
高电压 -1600DCV
电源 220V AC,50Hz接地三脚插头
机械泵 2L/S
重量 ~20Kg
主机 300mm×360mm×380mm（W×D×H）
真空规 皮拉尼真空计
靶（上部电极）尺寸 Φ50mm×0.1mm（D×H），Au（标配）
样品室尺寸 160mm×120mm（D×H），硼硅酸盐玻璃
溅射面积 Φ50mm
高真空度 ≤4×10-2mbar
大电流 50mA
定时器时间 0-360s
微型真空气阀 可连接φ3mm软管
可通入气体 多种
高电压 -1600DCV
电源 220V AC,50Hz接地三脚插头
机械泵 2L/S
重量 ~20Kg
主机 300mm×360mm×380mm（W×D×H）
真空规 皮拉尼真空计
靶（上部电极）尺寸 Φ50mm×0.1mm（D×H），Au（标配）
样品室尺寸 160mm×120mm（D×H），硼硅酸盐玻璃
溅射面积 Φ50mm
高真空度 ≤4×10-2mbar
大电流 50mA
定时器时间 0-360s
微型真空气阀 可连接φ3mm软管
可通入气体 多种
高电压 -1600DCV
电源 220V AC,50Hz接地三脚插头
机械泵 2L/S
重量 ~20Kg
