型号:9110-01
流速 1 CFM (28.3 L/min) ±5% 精度 / 粒径范围 0.100 至 10.0 μm
TSI AeroTrak™ 便携式粒子计数器 9110 型可测量低至 0.100 μm 的颗粒!这是利用获得的 HeNe 激光技术实现的,该技术维护成本低,信噪比更高。9110 型非常适合对 1 级和 2 级洁净室执行 ISO-14644-1 分类。该仪器专为洁净室监测、工艺工具监测和过滤器测试应用而设计。
9110 型可以通过机载打印机和随附的 TrakPro™ Lite Secure 下载软件生成 ISO 14644-1 的通过/失败报告。可以根据需要方便地存储和上传多个粒子计数器配置。该产品可用作独立的粒子计数器,或集成到 TSI 的 FMS 5 等设施监测系统中。
9110 型符合 ISO 21501-4 中规定的所有严格要求。它使用 TSI 世界*的分类器和冷凝粒子计数器通过 NIST 可追溯的 PSL 球体进行校准。
颗粒污染监测
已安装的过滤器泄漏测试
洁净室
准确测量 0.100 μm 的颗粒
0.100 至 10.0 μm 尺寸范围
多达 8 个同步数据通道
1.0 CFM (28.3 L/min) 流速
符合 ISO 21501-4 的所有要求
测试 1 级和 2 级洁净室的*选择
ISO-14644-1、欧盟 GMP 附录 1 和 FS209E 的机载报告
通过 TrakPro™ Lite Secure 提供外部报告
利用增强型 HeNe 激光器
高度可重复且可靠的测量/数据
数据存储:250 个区域、999 个位置和 10,000 个样品
USB、USB 存储设备、以太网数据传输和脉冲输出
业界*响亮的声音警报
允许存储和调用特定的配方和区域配置
*多显示三个环境参数
不锈钢外壳
与 M32-01 歧管无缝集成