可确保精度范围在±1%S.P.(设定值)的高性能数字通讯质量流量控制器。
搭配LINTEC独创的环境温度补足式质流传感器,即使在低温下也能实现高精度的流量测量。 它可抑制由于传感器受热而导致的老化劣化,可以对臭氧等高度可降解的气体进行流量控制。
可搭载的选配规格包括:液化气体、小流量 F.S.、大流量范围、表面实装和接头名称。
高性能数字通讯MFC
精度范围±1%S.P.
使用温度5~50℃
金属密封件
无尘生产(粒子标准监控)
周围温度补偿式传感器
RS-485数字通讯接口
小流量F.S.
液化气体
大流量范围
由于CVD(化学气相沉积法)、ALD(原子层沉积法)镀膜设备和蚀刻设备中使用高活性气体,因此具有高耐腐蚀性金属密封的气体质量流量控制器至关重要。
此外,前驱体在常温常压下含有大量液化气体,因此具有耐热性且不易液化的阀门结构很重要。 选择LINTEC高性能质量流量控制器MC-3000L,则可选配【液化气体】【*工作温度50°C(可选至55°C)】等相应规格。
分析设备可能需要控制极小流量,但一般质量流量控制器的*小F.S.为5SCCM,因此无法对应。 MC-3000L高精度质量流量控制器可选配F.S.1SCCM或更低流量范围。
此外,高性能质量流量控制器MC-3000L还标配死体积较小的隔膜阀。
详情请致电或邮件咨询。
| 温度 | *下压差 | *压差 | 精度 | 控制范围 | *小F.S. | *小F.S. | 密封件 |
| 5~50℃ | 50kPa | 300kPa | ±1%S.P. | 2~*F.S. | 5SCCM | 400SLM | Au |
※此表仅表示一般规格的MFC。 根据选配规格变化。
北崎9年,日本会社20年,专注领域如下:
仪器相关:
山高SANKO(代理)、东机产业TOKI(代理)、索尼克SONIC(代理)、东日技研DIT(代理)、杉山电机SUGIYAMA(代理)、爱安德AND(厂家合作)、饭岛电子IIJIMA、东丽TORAY、共和KYOWA、爱安德AND、豪雅HOYA(代理)
备件设备相关:
柴田SIBATA(代理)、 壶坂TSUBOSAKA(代理)、雅马拓YAMATO、新光NEWKON(代理)、武藏MUSASHI(代理)、尼得科NIDEC(代理)、MRM(代理)、坂口电热SAKAGUCHI(代理)、冈崎OKAZAKI、椿本TUSBAKI(厂家合作)、山本镀金YAMAMOTO、驰卡沙TSUKASA、朝日分光ASAHI、东机理化EYELA、科库森KOKUSAN
光源相关:
岩崎EYE(代理)、日森SEN(代理)、晰写速CCS(代理)、莱宝克斯REVOX(代理)、索莱克SERIC(代理)、普拉瑞POLARION、船越龙FUNATECH、牛尾USHIO、艾泰克ATIEC、山田YAMADA、拓普康TOPCON、欧阿希ORC、赛纳SENA、英富丽INFLIDGE
电气控制:
SIEMENS西门子(厂家合作)、MITSUBISHI三菱,OMRON欧姆龙(厂家合作)、基恩士KEYENCE(厂家合作)
北崎优势:
1、以下三大类前6项均为日本原厂授权代理销售;其它为厂家项目授权代理销售;
2、未归类的为我司日本本社向日本原厂直接采购,可提供关单和产地证明。
光源类:
1、EYE岩崎——UV灯、照度计 (备库销售)
2、SEN日森——UV固化装置、高压水银灯、紫外光清洗设备 (备库销售)
3、CCS晰写速——环形光源、面光源、光源箱 (部份光源可提供试样)
4、REVOX莱宝克斯——光源箱
5、SERIC索莱克——人工太阳照明灯
6、POLARION普拉瑞——强光灯
7、FUNATECH船越龙——目视检查灯 (备库销售)
8、USHIO牛尾——UV汞灯、小灯泡
9、ATIEC艾泰克——光源、条光、同轴光、强光灯
10、YAMADA依梦达——光源 (备库销售)
仪器仪表类:
1、SANKO山高——膜厚仪、金属探测仪
2、TOKI东机产业——粘度计
3、SONIC索尼克——超声波风速仪、气体及液体流量计 (备库销售)
4、SAKAGUCHI坂口电热——热电偶、耐热线、热电对
5、DIT东日技研——静电消除器、离子风棒
6、SUGIYAMA杉山电机——下死点检测仪、误送检测装置 (备库销售)
7、IIJIMA饭岛电子——酸素计、氧气分析仪、浓度计
8、TORAY东丽——气体分析仪
9、HIOKI日置——功率分析仪、记录仪、电流传感器
10、TOPCON拓普康——色彩亮度计、辉度计、照度计 (备库销售)
11、KYOWA共和——应变仪、应变片、传感器 (部份备库销售)
12、USHIO牛尾——照度计 (备库销售)
13、ORC欧阿希——照度计 (备库销售)
14、AND爱安德——水分计、天平、粘度计 (备库销售)
15、YASKAWA安川——磁性开关 (备库销售)
16、RKC——热电偶、温控器 (备库销售)
17、EXCEL——听音机 (备库销售)
小设备类:
1、SIBATA柴田——环境净化设备、大流量采样器、微型泵 (部份备库销售)
2、YAMATO雅马拓——恒温箱、干燥箱、气氛炉
3、NEWKON新光——打孔机、钢印机
4、MUSASHI武藏——点胶机
5、KAIJO凯捷——清洗机
6、TSUBOSAKA壶坂——对比度仪
7、EYELA东京理化---旋转蒸发仪
8、NIDEC尼得科——减速机
9、AKiribis雅科贝斯——加工平台、高速直驱电机
10、OTSUKAEL大塚——光学膜厚仪、粒度仪