LINTEC林泰克RS-485数字通讯接口耐高温质量流量控制器MC-3000L-TC

发布时间:2025-04-09

耐高温质量流量控制器MC-3000L-TC

气体流量控制的*使用温度120℃、非通电状态下使用温度可高达150℃的耐高温质量流量控制器。

通过将高温气体接触部分与不耐热的基板部分分离,可以实现高温环境下的气体控制。

接气体加热模块采用不锈钢材料SUS-316L,密封材料采用Au,可对应腐蚀性气体。

在标准配置基础上,还可选配防止液化气体再次液化的低压差规格,以及接触气体部分加热模块。

耐高温MFC【MC-3000L-TC】产品图片耐高温质量流量控制器
【MC-3000L-TC】

特点

选配规格

使用范例

液化气体、升华气体流量控制

CVD(化学气相沉积法)和 ALD (原子层沉积法)中所使用的气源不仅限于常温常压下的气体,也可能是常温常压下的液体或固体原料。液体和固体在常温条件下产生的气体较少,很难利用压差原理来控制流量。因此,MFC的工作压力是通过加热原料罐并增加蒸汽压力以产生压差来确保的。MC-3000L-TC能够进行高温控制和低压差工作,是液化和挥发性气体流量控制的理想选择。

规格表 


温度*小压差*压差精度控制范围*小F.S.*F.S.密封材
Low80~100℃50kPa
300kPa±1%F.S.2~*F.S.10SCCM25SLMAu
high100~120℃50kPa
300kPa±1%F.S.2~*F.S.10SCCM25SLMAu

※此表仅表示一般规格的MFC。 根据选配规格变化。

北崎9年,日本会社20年,专注领域如下:

仪器相关:

山高SANKO(代理)、东机产业TOKI(代理)、索尼克SONIC(代理)、东日技研DIT(代理)、杉山电机SUGIYAMA(代理)、爱安德AND(厂家合作)、饭岛电子IIJIMA、东丽TORAY、共和KYOWA、爱安德AND、豪雅HOYA(代理)


备件设备相关:

柴田SIBATA(代理)、 壶坂TSUBOSAKA(代理)、雅马拓YAMATO、新光NEWKON(代理)、武藏MUSASHI(代理)、尼得科NIDEC(代理)、MRM(代理)、坂口电热SAKAGUCHI(代理)、冈崎OKAZAKI、椿本TUSBAKI(厂家合作)、山本镀金YAMAMOTO、驰卡沙TSUKASA、朝日分光ASAHI、东机理化EYELA、科库森KOKUSAN


光源相关:

岩崎EYE(代理)、日森SEN(代理)、晰写速CCS(代理)、莱宝克斯REVOX(代理)、索莱克SERIC(代理)、普拉瑞POLARION、船越龙FUNATECH、牛尾USHIO、艾泰克ATIEC、山田YAMADA、拓普康TOPCON、欧阿希ORC、赛纳SENA、英富丽INFLIDGE


电气控制:

SIEMENS西门子(厂家合作)、MITSUBISHI三菱,OMRON欧姆龙(厂家合作)、基恩士KEYENCE(厂家合作)


北崎优势:

1、以下三大类前6项均为日本原厂授权代理销售;其它为厂家项目授权代理销售;

2、未归类的为我司日本本社向日本原厂直接采购,可提供关单和产地证明。

光源类:

1、EYE岩崎——UV灯、照度计 (备库销售)

2、SEN日森——UV固化装置、高压水银灯、紫外光清洗设备 (备库销售)

3、CCS晰写速——环形光源、面光源、光源箱   (部份光源可提供试样)

4、REVOX莱宝克斯——光源箱

5、SERIC索莱克——人工太阳照明灯

6、POLARION普拉瑞——强光灯

7、FUNATECH船越龙——目视检查灯  (备库销售)

8、USHIO牛尾——UV汞灯、小灯泡

9、ATIEC艾泰克——光源、条光、同轴光、强光灯

10、YAMADA依梦达——光源 (备库销售)

                      

仪器仪表类:

1、SANKO山高——膜厚仪、金属探测仪  

2、TOKI东机产业——粘度计

3、SONIC索尼克——超声波风速仪、气体及液体流量计 (备库销售)

4、SAKAGUCHI坂口电热——热电偶、耐热线、热电对

5、DIT东日技研——静电消除器、离子风棒

6、SUGIYAMA杉山电机——下死点检测仪、误送检测装置 (备库销售)

7、IIJIMA饭岛电子——酸素计、氧气分析仪、浓度计

8、TORAY东丽——气体分析仪

9、HIOKI日置——功率分析仪、记录仪、电流传感器

10、TOPCON拓普康——色彩亮度计、辉度计、照度计  (备库销售)

11、KYOWA共和——应变仪、应变片、传感器  (部份备库销售)

12、USHIO牛尾——照度计 (备库销售)

13、ORC欧阿希——照度计 (备库销售)

14、AND爱安德——水分计、天平、粘度计 (备库销售)

15、YASKAWA安川——磁性开关 (备库销售)

16、RKC——热电偶、温控器 (备库销售)

17、EXCEL——听音机 (备库销售)


小设备类:

1、SIBATA柴田——环境净化设备、大流量采样器、微型泵 (部份备库销售)

2、YAMATO雅马拓——恒温箱、干燥箱、气氛炉

3、NEWKON新光——打孔机、钢印机

4、MUSASHI武藏——点胶机

5、KAIJO凯捷——清洗机

6、TSUBOSAKA壶坂——对比度仪

7、EYELA东京理化---旋转蒸发仪

8、NIDEC尼得科——减速机

9、AKiribis雅科贝斯——加工平台、高速直驱电机

10、OTSUKAEL大塚——光学膜厚仪、粒度仪


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