低压差质量流量控制器MC-3000S

*小工作压差800Pa（6 Torr）的低压差质量流量控制器。

搭载LINTEC独创的环境温度补足式质流传感器抵压损构造，在±1%F.S.精度范围内减少压力损失。

搭载独创的高性能压电控制阀，在低压差环境下亦可实现稳定、的流量控制。

MC-3102S

特点

• 低压差（800Pa）

• 使用温度5～50℃

• 金属密封材

• 无尘生产（粒子标准监控）

• 环境温度补足式传感器

• RS-485数字通讯接口

选配规格

• 微小流量F.S.

使用范例

低蒸气压气体在低温环境下的流量控制

MC-3000S系列是采用LINTEC独自开发的抵压损构造的质量流量控制器，如果二次侧为真空状态，即使在常温条件下也能对H2O等液体原料进行流量控制。使用ITO溅射方法，该方法将少量水蒸气发送到真空室。 此外，即使是低蒸气压的固体原料（如 XeF2），常温条件下也可以进行流量控制。

減圧タンク容器（SDS容器）の流量制御 减压罐容器（SDS容器）的流量控制

离子注入设备中使用AsH3和PH3等特殊材料气体，并且通常使用安全输送源Safe Delivery Source（SDS）容器来实现安全稳定的输送。SDS填充的罐压低于大气压，需使用对应低压差环境的MFC。搭载低压差结构的MC-3000S系列产品则可以满足这一需求。

规格表

温度	*小压差	*压差	精度	控制范围	*小F.S.	*F.S.	密封材
5~50℃	800Pa	133kPa	±1%F.S.	2~*F.S.	2SCCM	30SCCM	Au

※此表仅表示一般规格的MFC。　根据选配规格变化。