KASHIYAMA樫山工业 干式真空泵 NeoDry100E
KASHIYAMA（樫山工业）是日本的真空设备制造商，其干式真空泵以无油运行、耐腐蚀设计及低维护成本为核心优势，广泛应用于半导体、化工、制药等对洁净真空要求严苛的领域。
KASHIYAMA樫山工业 干式真空泵 NeoDry100E
核心技术特性
无油干式技术
螺杆式/爪式转子结构：
通过精密啮合转子实现气体压缩，全程无润滑油，避免油蒸气污染（适合敏感工艺如晶圆加工）。
抽速范围 10~1,500 m³/h，极限真空 0.1 Pa（0.001 mbar）。
耐腐蚀设计：
转子与腔体采用不锈钢镀层或陶瓷涂层，耐受酸性气体（如HCl、Cl₂）和颗粒物。
节能高效：
变频驱动（VFD）调节转速，能耗较油封泵降低30%~50%。
智能控制与监控
实时参数显示：真空度、温度、功耗等数据通过触摸屏或远程接口（Modbus/以太网）输出。
自诊断系统：振动、温度传感器预警异常（如过载或异物进入），自动停机保护。
典型应用场景
半导体与电子
晶圆制造：CVD/PVD设备抽真空，避免油污染（需Class 1000洁净环境）。
LED封装：固晶机、焊线机的无油真空吸附。
化工与制药
溶剂回收：抽除挥发性有机物（VOCs），配套冷凝器实现回收。
冻干机：药品冻干工艺中的无油真空保障（符合GMP要求）。
新能源
锂电池干燥：极片烘箱抽湿，露点≤-40℃。
| 规格/型号 | NeoDry7E 新干 | NeoDry15E 新干 | NeoDry30E 新产品 | NeoDry36E 新产品 | NeoDry60E 新干 | NeoDry100E 新产品 | NeoDry300E 新产品 |
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*抽速 [L/min] |
110 | 250 | 500 | 600 | 1,000 | 1,670 | 5,000 |
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极限压力 [Pa] （无气镇机构） |
5.0 | 1.0 | 2.0 | 0.3 | |||
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电源电压 （50/60Hz） *1 |
单相 AC100~120V 单相 AC200~240V |
单相 AC100~120V， 单相 AC200~240V 三相 AC200~240V |
单相 AC200~240V 三相 AC200~240V |
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| 气镇机制 | 可选配置 （N2是的） | 标准采用 | |||||
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*蒸汽处理速率 [g/h] （带气镇机构） |
120 | 250 | 350 | 600 | |||
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噪音水平 [dB（A）] （进气口完全关闭时） |
≦56 | ≦58 | ≦60 | ≦55 | ≦72 | ||
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振动值 [μmp-p] （当进气口完全关闭时） |
≦8 | ≦15 | |||||
| 重量 [kg] | 19 | 23 | 25 | 54 | 56 | 90 | 125 |
| 进气口直径 | 西北 25 | 西北 40 | 西北 50 | ||||
| 排气孔 | 西北 25 | ||||||
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外形尺寸 [mm] 长×宽×高 *2 |
360×196×219 | 385×210×250 | 410×210×250 | 475×298×275 | 530×315×275 | 576×320×342 | 574×304×575 |
